판매용 중고 KLA / TENCOR 2350 #9261852

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KLA / TENCOR 2350
판매
ID: 9261852
웨이퍼 크기: 8"-12"
High-resolution imaging inspection system, 8"-12".
KLA/TENCOR 2350은 집적 회로의 결함을 식별하기 위해 설계된 첨단 기술 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고급 이미징 기술 (Advanced Imaging Technology), 소프트웨어 알고리즘 (Software Algorithms) 및 고속 패턴 인식 (High Speed Pattern Recognition) 을 결합하여 집적 회로의 결함을 빠르고 정확하게 감지합니다. 이 장치는 단순 긁힘 (simple scratch) 에서 복잡한 입자 (complex particle) 에 이르기까지 다양한 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 기계는 초밝기 광원과 결합된 CCD 카메라를 사용하여 금속 마스크 (metal mask) 또는 집적 회로 (integrated circuit) 의 표면을 자세히 이미징합니다. 이 이미징 기술은 최대 5 마이크로미터 해상도의 이미지를 제작할 수 있습니다. 이미지가 수집되면 강력한 소프트웨어 알고리즘 (software algorithm) 을 사용하여 가능한 결함을 찾아낼 수 있습니다. 이 도구는 다양한 이미지 처리 기술을 사용하여 입자 오염, 핀 홀, 모서리 결함, 서피스 거칠기 및 저항성 변화와 같은 결함을 감지합니다. 검사 프로세스의 일부로, 자산은 중앙 위치, 원형, 결함 크기 등의 고급 통계 기반 측정을 수행합니다. KLA 2350 은 다양한 표준 기능 (예: 사용자 정의 검색 기준을 만들거나 수정할 수 있는 유연한 패턴 라이브러리 툴) 을 갖추고 있습니다. 또한, 이 모델에는 감지된 결함의 근본적인 원인을 결정하는 고급 분석 (Advanced Analysis) 및 측정 기능이 포함되어 있습니다. 마지막으로, 장비에는 통합 보고 도구 (Integrated Reporting Tool) 가 제공되며, 이를 통해 검사 결과에 대한 자세한 Report 를 저장하고 인쇄할 수 있습니다. 이 보고서는 집적 회로의 전체 품질을 평가하는 데 사용됩니다. TENCOR 2350은 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템으로, 포괄적인 결함 감지 및 분석 기능을 제공합니다. 고급 이미징, 패턴 인식 (pattern recognition), 통계 기반 측정 (statistical-based measurement) 을 결합하면 집적 회로의 결함을 빠르고 정확하게 감지 할 수 있습니다. 이 기계는 집적회로의 결함을 감지하는 효율적이고 신뢰할 수 있는 방법을 찾는 기업에 이상적입니다 (영문).
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