판매용 중고 KLA / TENCOR 2350 #9136721

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KLA / TENCOR 2350
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ID: 9136721
High resolution imaging inspection system, 8"-12" Dual FIMS EFEM, 8" GEM SECS and HSMS Signal light tower XENON Lamp: 150 W Wave length illumination: 370 ~ 720 nm Wave length band: Visible, UV, i-line Pixel size: 160 ~ 250 nm MM2S Board User Interface (Ul): Computer monitor Wafer display Industrial PC (IPC) Image computer (IMCs) Inspection Station (IS): Granite suspension Optics plate Air filter Stage cooling Wafer handler (EFEM) Dual open, 8"-12" Dual SMIF, 8" Dual FIMS, 8"-12" Missing parts: Hard Disk Drive (HDD) Keyboard, mouse and joystick Solenoid board with valve and AF LED board Y1 Flex board (2) FVPA Boards Robot controller Fan Filter Unit (FFU) Ul and IS Cable RGB Cable RS232 Cable Joystick cable EMO Cable (4) IMACS TO UI Cables (2) AZP FFA Cables MIB Cable Digital camera cable 2001 vintage.
KLA/TENCOR 2350 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 고성능 검사 플랫폼으로, 정확하고, 반복 가능하며, 자동화된 다중 계층 유전체 및 도량형 측정을 제공합니다. 이 시스템은 다이오드, OCT 및 선형 가변 회절 격자 (LVDP) 를 포함하여 리소그래피 시장의 특정 요구를 위해 개발 된 특수 광학을 사용합니다. 클라이 2350 (KLA 2350) 은 레티클과 웨이퍼에 유전체의 반사도와 산란을 모두 측정 할 수있다. 그것 은 355 "나노미터 '내지 730" 나노미터' 에 이르는 조율 가능 한 파장 을 가지고 있어서, 여러 가지 재료 와 응용 에 걸친 검사 에 적합 하다. 높은 동적 범위 (dynamic range) 와 뛰어난 감도 (sensitivity) 를 가지며 최대 0.4hm까지 해상도로 이미지를 제공 할 수 있습니다. 검사 장치에는 웨이퍼 부분 결함 분석, 레티클 풀스루 분석, 유전체 프로파일 측정 등 여러 전문 프로그래밍 알고리즘이 포함되어 있습니다. 이 제품은 Mura 감지, 자동 정렬, 이미지 스티칭을 포함한 강력한 이미지 처리 및 데이터 분석 기능과 통합됩니다. 이 컴퓨터에는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 포함되어 있어 편리하게 악기에 액세스하고, 구성하고, 제어할 수 있습니다. 또한 외부 데이터베이스에 대한 연결을 제공하므로 프로세스 데이터를 품질 관리 (quality control) 프로그램에 쉽게 연결할 수 있습니다. TENCOR 2350은 고급 포토마스크 (photomask) 및 웨이퍼 (wafer) 프로세스의 결함을 감지하는 데 소요되는 시간을 줄이고 일관된 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 고급 이미지 처리 (image-processing) 기능을 통해 실시간 결함을 신속하게 감지하고 분석할 수 있습니다. 또한, 통합 도량형 및 자동 분석 소프트웨어는 단일 단계에서 정확하고 반복 가능한 유전체 특성을 가능하게합니다. 전체적으로, 2350 개의 검사 자산은 반도체 업계의 신뢰성 및 성능 제어를 위한 효율적이고 비용 효율적인 솔루션입니다. 레이저 회절, OCT, 다이오드와 같은 첨단 기술은 탁월한 정확성과 반복 성을 제공합니다. 통합 소프트웨어와 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖춘 이 제품은 시장에서 가장 효율적이고 안정적인 시스템 중 하나입니다.
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