판매용 중고 KLA / TENCOR 219 SWD #293635821

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ID: 293635821
빈티지: 1988
Mask inspection system 1988 vintage.
KLA/TENCOR 219 SWD는 반도체 제조에서 품질 보증을 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 멀티 센서 시스템은 나노미터 수준의 결함을 감지하고 최대 300mm 크기의 웨이퍼 (wafer) 를 처리 할 수 있습니다. KLA 219 SWD는 인라인 어플리케이션을 위해 설계되었으며 4 개의 브라이트 필드와 3 개의 다크 필드 옵틱이 장착되어 있습니다. 이를 통해 동급 최고의 감도와 시간당 50 웨이퍼의 처리량을 가진 패턴 형 실리콘 레이어에서 5nm 이하의 결함을 감지 할 수 있습니다. 고급 독점 Video Flex 알고리즘은보다 포괄적이고 정확한 검사 결과를 보장합니다. 이 장치에는 KLA Image Navigation Machine (INK) 과 같은 고급 이미징 및 도량형 도구가 포함되어 있어 최고 수준의 결함 검사, 에지 배치 정확도 측정, 고급 마스크 검사 등이 가능합니다. 또한, 실제 결함을 잘못된 경보와 구별 할 수있는 고급 분할 (advanced segmentation) 방법론을 갖추고 있습니다. 또한 wafer 검사 매개변수는 회사의 GRS (Global Remote Tool) 를 통해 원격으로 실시간으로 조정할 수 있습니다. TENCOR 219SWD에는 터치스크린 사용자 인터페이스가 있어 운영자가 시스템 간에 쉽게 전환하고, 검사 매개변수를 조정하고, 측정 데이터를 볼 수 있습니다. 사용자 인터페이스는 또한 고급 ADR (Automated Defect Review) 및 고급 이미징 옵션에 대한 한 번의 버튼 액세스를 제공하며, 자동화된 모서리 배치 정밀도 측정 및 사용자정의 (Customized Inspection) 알고리즘을 제공합니다. 219SWD는 표면 결함 감지, 마스크 및 웨이퍼 검사, 스트레스 측정, 다이 투 다이 검사 등 다양한 전문 스마트 검사 기술을 제공합니다. 안전과 청결을 염두에두고 지어졌으며 200, 300, 450mm 웨이퍼 크기에 적합합니다. 궁극적으로 KLA/TENCOR 219SWD는 기술적으로 진보된 신뢰성 있는 검사 자산으로, 나노 미터 수준의 결함을 감지 할 때 동급 최고 수준의 정확도, 반복 가능성 및 효율성을 제공합니다. 광범위한 기능, 자동화된 기능, 사용자 친화적인 UI (UI) 를 통해 반도체 업계의 품질 보증을 위한 최적의 선택이 가능합니다.
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