판매용 중고 KLA / TENCOR 2139 #9390473

KLA/TENCOR 2139는 반도체 웨이퍼의 결함을 감지하기위한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 자동화된 광 검사 장치 (Optical Inspection Unit) 와 웨이퍼 처리 (Wafer Handling) 및 고급 다중 도구 분석 기능을 결합하여 다양한 유형의 마스크와 웨이퍼에 대한 초고속, 비파괴적 평가 및 결함 특성을 제공합니다. 이 기계에는 고해상도 자동 초점, 웨이퍼 로딩 및 언로드, 고해상도 다중 패턴 지원 등 자동화된 환경이 있습니다. 하드웨어는 큰 시야를 사용하여 결함이없는 웨이퍼에서 최대 8äm (결함 없음) 의 결함을 식별합니다. 결함 감지 기능을 더욱 향상시키기 위해 이 도구는 고급 명암비 변조 (advanced contrast modulation) 및 고급 알고리즘 (advanced algorithm) 을 사용하여 다양한 장애 모드를 감지할 수 있습니다. KLA 2139는 자동 스케치, 물리적 도형 측정, 토폴로지, 이미지 패턴 분석 등의 자동화된 결함 특성 (defect characterization) 기능을 제공하여 다양한 결함을 빠르고 정확하게 파악할 수 있습니다. 이와 함께, 이 자산은 결함 검사 프로세스에서 원시 이미지를 캡처하기 위한 데이터 전송 (data transfer) 및 저장 (storage) 기능을 제공하여 고객에게 고도의 결함 이미지를 제공합니다. 이 모델은 또한 자동화된 레시피 (레시피) 를 실행할 수 있으며, 이를 통해 고객은 웨이퍼 (웨이퍼) 나 마스크 (마스크) 를 분석하는 데 걸리는 시간을 줄일 수 있습니다. 또한 자동화된 결함 검사를 수행하는 동안 수동 개입이 필요하지 않습니다. 이 장비는 또한 고급 결함 분석 (Advanced Defect Analytics) 기능을 통해 수율 제한 결함을 빠르고 정확하게 감지 할 수 있습니다. 신뢰성 있고 정확한 데이터를 보장하기 위해 TENCOR 2139 는 시스템 보정 및 모니터링 (monitor) 옵션을 자동화하여 단위 (unit) 성능이 유지되고 시스템에 대한 고객 신뢰도가 완전히 보장됩니다. 또한, 다른 옵틱과 이미지 센서 간의 조명, 배경, 고전압, 검출기, 동기화 등의 제어 기능을 제공합니다. 전반적으로, 2139 는 반도체 업계를 위한 자동화된 고급 광검사 툴로서, 초고속 결함 감지 (fast fect detection) 및 고급 알고리즘 및 분석 (analysics) 기능을 제공하여 마스크와 웨이퍼의 결함을 정확하게 특성화하고 정량화합니다. 따라서, 반도체 제조업체가 경쟁력을 유지하도록 돕는 귀중한 도구입니다.