판매용 중고 KLA / TENCOR 2138 #293767168

KLA/TENCOR 2138은 고급 프런트 엔드 프로세스 제어 및 결함 검사를 제공하는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 450mm 웨이퍼 및 196mm 마스크를 처리하여 20 nm 이하의 기술 노드에서 가장 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. KLA 2138 장치에는 독점 "브라이트 필드 채널 (Brightfield Channel)" 기능이 있으며, 100 가지가 넘는 신호 유형을 샘플링하여 최대 0.6 미크론 해상도에서 마스크 및 웨이퍼 표면의 자세한 이미지를 제공 할 수 있습니다. 이 기능은 고해상도 (high-resolution) 이미지를 통해 기계가 가장 작은 결함까지도 감지할 수 있으므로 결함 검사 (defect inspection) 과정을 개선할 것으로 예상됩니다. 또한, TENCOR 2138은 브라이트필드 대비 이미징 (brightfield contrast imaging) 기술을 사용하여 기능 및 구조의 가장 미묘한 차이점을 강조합니다. 이는 패턴 밀도 (pattern density) 와 마스크 레이아웃 (mask layout) 의 미묘한 변화를 감지하여 손실을 초래할 수 있습니다. 2138 도구는 또한 "Write-on-Demand" 프로그래밍 가능한 레이아웃 편집기 기능을 제공합니다. 이 기능은 멀티레이어 배선 (multi-layer 배선) 및 기술 간 전환을 위한 고밀도 레이아웃 (high-density layout) 과 같은 복잡하고 고급 마스크 레이아웃 작업을 지원합니다. KLA/TENCOR 2138은 고정밀 옵토 기계 단계를 통합합니다. 전동 단계는 웨이퍼 검사 중에 매우 정확한 스캔 제어를 제공합니다. 에셋은 또한 자동 초점 제어 모델 (focus control model) 을 통해 획득한 이미지가 샘플 표면에 집중되도록 합니다. 또한, KLA 2138 (CLA 2138) 은 고급 경사 및 모서리 감지 기능을 제공하여 장비가 샘플의 모서리 및 경사면에 있는 패턴을 정확하게 식별 할 수 있습니다. 이 기능은 신뢰할 수 있는 DPPM (Defects Per Million) 분석을 제공하고 샘플에 걸친 다이의 성능을 예측하도록 설계되었습니다. 마지막으로 TENCOR 2138은 "대칭 관리 (Symmetric Management)" 기능으로 다음 단계로 사용자 정의하여 효율적인 샘플 이미징을 지원합니다. 이 시스템은 패턴 유형 (type) 과 샘플 크기에 따라 최적의 결과를 제공하도록 구성할 수 있는 브라이트필드-다크필드 검사 장치 (brightfield-darkfield inspection unit) 를 제공합니다. 전반적으로 2138 기계는 고해상도 이미징, 프로그래밍 가능한 레이아웃 편집기, 정확한 스캔 및 초점 제어, 정확한 경사와 에지 감지, 사용자 정의 가능한 자동 결함 분석 기능을 제공하는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 도구입니다. "마스크 '와" 웨이퍼' 제조 공정 의 정확성 과 처리량 이 향상 될 것 으로 예상 된다.