판매용 중고 KLA / TENCOR 2138 #192497

KLA/TENCOR 2138 (KLA/TENCOR 2138) 은 웨이퍼와 마스크에서 다양한 결함과 외국 입자를 감지하도록 설계된 고성능 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 효과적인 검사를 위해 고급 도량형 (advanced metrology) 과 비파괴적 (non-destructive) 테스트 기술의 조합을 사용합니다. 이 장치는 고해상도 현미경 이미징 및 스캔 레이저 기술을 결합한 고급 듀얼 센서 아키텍처를 사용합니다. 광학 현미경은 기존의 디지털 이미징 (digital imaging) 기술보다 더 큰 해상도와 명암비를 제공하는 반면, 레이저 스캐닝 머신 (laser scanning machine) 은 결함을 감지하는 더 정확한 방법을 제공한다. 두 개의 센서가 함께 작동하여 안정적이고 정확한 검사 기능을 제공합니다. 클라 2138 (KLA 2138) 은 결함 인식, 특성화에 최적화된 강력한 이미지 획득, 처리 소프트웨어를 탑재했다. 소프트웨어는 에지 검출 (edge detection), 결함 인식 (defect recognition), 자동 초점 (auto focus), 이미지 향상 (image enhancement) 기술 등 다양한 알고리즘을 사용하여 가장 어려운 패턴에서도 결함과 외국 입자를 빠르고 정확하게 식별합니다. 이 도구는 크기, 모양, 위치 등 다양한 측정 매개변수를 제공합니다. 민감성 자산은 기본 장치 구조에 영향을 미치지 않고 12 나노미터 (12 나노미터), 더 작은 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한 3 차원으로 측정하는 동안 235 나노 미터 이상의 신호를 감지 할 수 있습니다. TENCOR 2138은 마스크 및 웨이퍼를 검사하는 데 안정적이고 효율적인 장치로 설계되었습니다. 결함과 외국 입자를 검출하는 데 탁월한 정확성과 신뢰성을 제공합니다. 이 모델은 다양한 웨이퍼 크기와 서피스 마무리 (surface finish) 유형에 대한 다양한 재료를 검사할 수 있습니다. 또한 장애 분석, 수명 테스트, 손상 검사 등 다양한 검사 작업을 수행할 수 있습니다. 복수 (multiple) 검사의 필요성을 줄이고, 검사 비용을 절감하고, 수익률과 처리량을 높이도록 설계되었습니다.