판매용 중고 KLA / TENCOR 2138 #191650

KLA/TENCOR 2138은 마스크 및 웨이퍼 기판에서 파편, 에지 롤 및 기타 결함을 정확하게 감지하도록 설계된 정교한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 다양한 자동 검사 (automated inspection) 기술을 수행할 수 있으며, 매우 특정한 해상도 (resolution) 와 민감도 (sensitivity) 수준에서 작동하도록 구성할 수 있습니다. KLA 2138은 다양한 응용 프로그램에 적합한 다용도 장치입니다. 사용자는 양면 스캐닝 기능 (양면 스캐닝 기능) 을 통해 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 기판 양쪽에 단일 검사를 통해 액세스할 수 있습니다. 이 기계는 효율성을 극대화할 수 있도록 설계되었으며, 사용자가 몇 분 안에 검사를 완료할 수 있도록 합니다. 텐코 2138 (TENCOR 2138) 도구에 포함 된 2 가지 주요 검사 구성 요소는 고해상도 현미경과 레이저 후드이며, 검사 중인 샘플의 3 차원 맵을 만드는 데 사용됩니다. 현미경은 후드 (hood) 와 함께 작동하여 인간의 눈에 눈에 눈에 띄지 않는 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 에 작은 결함을 감지합니다. 이것은 문제의 재료를 서브 미크론 해상도로 스캔함으로써 달성된다. 사용자는 해상도 (Resolution) 와 민감도 (Sensitivity) 측면에서 검사를 정확한 사양으로 사용자 정의할 수 있습니다. 2138 년 현미경을 사용한 검사는 엄청나게 정확하며, 95% 의 결함 감지율과 1% 미만의 잘못된 경보 율을 특징으로합니다. 자산은 단순히 파편과 다른 결함의 유무를 감지하는 데 그치지 않습니다. 또한 형상, 크기, 방향 면에서 개별 결함을 특성화할 수 있으며, 검사된 자료에 대한 철저한 평가를 사용자에게 제공합니다. 전반적으로, KLA/TENCOR 2138은 매우 다양하고 신뢰할 수있는 마스크 및 웨이퍼 검사 모델로, 다양한 작은 결함을 식별하고 특징 짓습니다. 양면 스캔 기능, 사용자 정의 가능한 검사, 높은 정확성을 갖춘 KLA 2138 은 마스크 및 웨이퍼 기판 (wafer substrate) 이 최대 사양인지 확인하기 위해 반드시 필요한 도구입니다.