판매용 중고 KLA / TENCOR 2138 XP #293779156

KLA/TENCOR 2138 XP는 고급 반도체 제조 공정에서 고정밀 결함 감지 및 특성을 제공하도록 설계된 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. KLA 2138 XP는 반도체 업계를 위한 프로세스 제어 및 항복 관리 솔루션의 선두 업체인 KLA 코퍼레이션 (KLA Corporation) 이 개발한 정교한 광학, 이미징 알고리즘, 자동화 기능을 활용하여 다양한 생산 단계에서 마스크와 웨이퍼를 빠르고 정확하게 검사합니다. TENCOR 2138XP 시스템의 핵심에는 다양한 광원, 탐지기, 이미징 구성 요소를 통합하여 고해상도 검사 기능을 제공하는 고급 옵티컬 디자인 (optical design) 이 있습니다. 이 장치는 브라이트 필드 (brightfield) 와 다크 필드 조명 (darkfield illumination) 기술을 사용하여 마스크와 웨이퍼 표면의 결함을 대조 및 가시성을 향상시킵니다. 브라이트 필드 조명 (Brightfield illumination) 은 전체 결함 감지를 위해 균일 한 조명을 제공하는 반면, 어두운 필드 조명은 표면에 비스듬한 각도로 빛을 지시하여 미묘한 결함을 감지 할 수 있습니다. 2138XP 시스템의 이미징 서브시스템 (Imaging Subsystem) 은 뛰어난 선명도와 해상도로 검사된 샘플의 자세한 이미지를 캡처하는 고성능 카메라와 센서로 구성됩니다. 이 도구의 이미징 알고리즘은 이러한 이미지를 분석하여 입자, 패턴 편차 (pattern deviations) 및 반도체 장치 성능 및 수익률에 영향을 줄 수있는 기타 이상 (anomalies) 과 같은 결함을 식별합니다. TENCOR 2138 XP에는 패턴 인식, 기계 학습, 인공 지능 알고리즘 등 고급 이미지 처리 기능이 장착되어 있어 결함 감지 정확성을 높이고 허위 (false positive) 를 줄일 수 있습니다. 강력한 이미징 기능 외에도 2138 XP는 강력한 자동화 자산 (Automation Asset) 으로, 검사 프로세스를 간소화하고 처리량을 향상시킵니다. 이 모델은 고급 로봇 공학, 전동 단계, 매핑 알고리즘을 통합하여 검사를위한 샘플을 정확하게 배치하고 효율성을 갖춘 복잡한 샘플 레이아웃을 탐색합니다. KLA/TENCOR 2138XP는 완전 자동화 (Fully Automated) 모드에서 여러 마스크와 웨이퍼를 검사할 수 있으며, 반도체 제조업체는 높은 생산성을 달성하고 운영 워크플로우의 주기 (cycle) 를 줄일 수 있습니다. KLA 2138XP는 리소그래피, 에치, 증착, 도량형 프로세스 등 다양한 반도체 제조 응용 프로그램을 지원하도록 설계되었습니다. 장비는 이진 및 위상 시프트 마스크, 레티클, 다양한 크기와 재료의 실리콘 웨이퍼 등 다양한 유형의 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 와 호환됩니다. KLA/TENCOR 2138 XP는 프로세스 제어를 강화하고 반도체 장치의 품질과 신뢰성을 보장하고자 하는 반도체 (반도체) 패브에 이상적인 솔루션으로 자리잡았다. 전체적으로 KLA 2138 XP는 고급 반도체 제조 환경에서 마스크 및 웨이퍼 검사를 수행하는 최첨단 솔루션입니다. TENCOR 2138XP는 고급 옵티컬 디자인, 이미징 알고리즘, 자동화 기능, 다양한 제조 프로세스와의 호환성을 통해, 반도체 제조업체가 높은 수율, 향상된 장치 성능, 최첨단 반도체 제품의 출시 시간 단축 등을 실현할 수 있도록 지원합니다.