판매용 중고 KLA / TENCOR 2135 #9389838

KLA/TENCOR 2135는 고급, 내구성이 뛰어난 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 산업 어플리케이션에 최적화되어 있습니다. 이 시스템은 높은 수준의 연산자를 필요로 하지 않고 높은 처리량 (Throughput) 및 결함 감지 (Defect Detection) 민감도 수준으로 정확성을 보장하는 포괄적인 검사자 (Inspector-in-a-box) 솔루션을 제공합니다. 이 장치는 내부 광원 (light source) 과 이미지 분석 프로그램 (image analysis program) 을 갖춘 상단 카메라로 구성되며, 유효한 데이터와 결함이 있는 데이터의 차이는 빠르고 정확하게 감지됩니다. 뿐 만 아니라, 상단 "카메라 '의 넓은 광경 을 보면" 웨이퍼' 의 넓은 면적 을 스캔 할 수 있으므로 여러 가지 "마스크 '와" 웨이퍼' 크기 에 적합 하다. KLA 2135는 포토 마스크 검사, 에치 검증, 다이 투 다이 검사 (Die-to-Die Inspection) 등 다양한 프로세스 단계를 통해 고속 성능을 발휘하도록 설계되었습니다. 또한이 기계는 photomask 리소그래피, 다이 스택 리소그래피, 현장 별 검사 및 고급 웨이퍼 제조 응용 분야에 사용될 수 있습니다. 또한 TENCOR 2135는 특수 설계된 이미징 탐지기를 사용하여 고해상도의 기능을 검사합니다. 즉, 가장 작은 결함까지 캡처하여 감지하여 프로세스 무결성 (process integrity) 을 높일 수 있습니다. 또한, 검출기는 최소한의 조정으로 로컬 반사 패턴 변형을 감지 할 수 있습니다. 이를 통해 검사 프로세스의 유연성이 높아집니다. 또한 색상 사용자 인터페이스와 GUI (Graphical User Interface) 를 사용하여 쉽게 사용 및 유지 관리할 수 있습니다. 이를 통해 사용자 지정 및 사용자 최적화 수준이 향상됩니다. 또한, 2135는 로봇 챔버 (robotic chamber) 및 서브 시스템 (sub-systems) 과 같은 다른 구성 요소와 결합 될 수 있으므로 기능이 더욱 향상됩니다. 궁극적으로 KLA/TENCOR 2135는 마스크 및 웨이퍼 검사 솔루션을 위한 최적의 선택으로, 효율적이고, 비용 효율적이며, 신뢰할 수 있는 자산을 제공합니다. 폭넓은 시야 (field of view), 빠른 속도 (fast speed), 간편한 유지 관리 (maintenance) 및 사용자 인터페이스 (user interface) 와 같은 기능을 조합하여 모든 산업 또는 제조 환경에 이상적인 솔루션이 됩니다.