판매용 중고 KLA / TENCOR 2135 #9373035
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KLA/TENCOR 2135 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 최첨단 이미징 플랫폼으로, 칩 수율을 극대화하면서 생산성을 향상시킵니다. 업계 최고의 화질 해상도, 정밀도 (Precision) 를 자랑합니다. KLA 2135에는 고해상도 디지털 이미징 카메라가 장착되어 있으며, 마스크 및 웨이퍼 패턴의 최대 10 나노미터 해상도 이미지를 캡처할 수 있습니다. 이를 통해 스마트폰· 웨어러블 (웨어러블) 의 회로만큼 작은 패턴을 실시간으로 검사할 수 있고, 실리콘 웨이퍼도 크다. 이 장치는 진정한 "출력" 기능을 제공하며 효율성을 극대화하기 위해 매우 자동화되었습니다. 텐코 2135 (TENCOR 2135) 에는 고휘도 백색 광원이 장착되어 있어 다양한 결함 탐지에 최적화되어 있습니다. 이를 통해 기계는 회절 결함 (diffractive defects) 과 같은 이미지 아티팩트 (image artifact) 와 전통적인 플랫 패턴 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 또한 접촉하지 않는 표면 검사를위한 고성능 epi-fluorescence 채널을 갖추고 있으며, 랜덤 결함 및 로컬 결함을 감지 할 수 있습니다. 에피-형광 (epi-fluorescence) 기능은 스팟, 작은 외국 입자, 표면 에칭 영역을 감지하여 반도체 장치 생산량의 처리량을 향상시키는 데 도움이됩니다. 모두 장치 성능을 줄이고 생산량을 줄일 수 있습니다. 2135는 사전 구성된 검사 도구 세트, 직관적인 소프트웨어 플랫폼, 여러 개의 검출기 인터페이스 옵션을 통해 유연성과 확장성을 제공하도록 설계되었습니다. 도량형 (Metrology) 기능은 물리적 표시 없이 웨이퍼에서 임계 치수를 감지하여 귀중한 도량형 (Metrology Tool) 이 될 수 있으므로 장치 특성에 적합합니다. 마지막으로, KLA/TENCOR 2135 는 고객의 요구에 맞게 맞춤식으로 구성할 수 있으며 사용 편이성이 24/7 운영에 이상적입니다. 마스크 & 웨이퍼 테스트 시스템 (mask & wafer test system) 분야의 선두 주자로서, KLA는 반도체 이미징 및 특성화에 안정적이고 비용 효율적인 자산입니다. TENCOR 의 혁신적인 이미징 기술을 활용하면 향상된 수익률, 디바이스 성능, 고품질 제품을 실현할 수 있습니다. 이 모델은 다양한 반도체 장치 응용 프로그램에 적합하며 고급 패키징 (advanced packaging) 및 MEMS (MEMS) 와 같은 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다.
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