판매용 중고 KLA / TENCOR 2135 #9252720
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판매
ID: 9252720
웨이퍼 크기: 8"
Wafer inspection system, 8"
DOS Operation system
Ranom and array mode
Wafer loader and stage, 6"
(2) Open cassettes
System backup drive
SAT Function is valid
Fully safety inter locks
Fully exchaust fan
Switch and button
Joystick
Console panel
Cover
Holder.
KLA/TENCOR 2135는 KLA 및 TENCOR의 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 마스크 포토 마스크 (Mask Photomask) 와 반도체 웨이퍼 (Semiconductor Wafer) 에 대한 고속, 고해상도 및 고해상도 검사를 제공하는 고급 시스템입니다. 이 장치는 마스크 및 웨이퍼 이미징 용 CCD (Dual Capacitance Charged Coupled Device) 카메라를 갖추고 있으며, 400 ns 노출 시간이 빠른 피치에서 최대 2125 nm 높이의 고해상도 이미지를 제공합니다. 또한 2 개의 LED (Light Emitting Diode) 시스템을 갖추고 있으며, 2 개의 파장으로 작동하며, 제품의 절대 피치와 일치하며, 가장 어려운 결함까지 일관되게 감지합니다. KLA 2135는 최첨단 반도체 장치의 결함 제로 생산을 용이하게하도록 설계되었습니다. 심층적 분석 (in-depth analysis) 을 통해 결함을 감지하고 분류하고, 여러 마스크 레이어에 걸쳐 유사한 결함 사이의 연결을 매핑하는 강력한 검사 프로세스를 제공합니다. 또한 특수 ADA (Advanced Defect Analysis) 도구를 사용하여 Darkfield 및 Brightfield Imaging을 사용하여 인쇄 통과 결함을 포함하여 치명적 결함을 빠르고 정확하게 식별합니다. 또한, TENCOR 2135는 패턴 이동 및 라인 너비 변화를 감지하는 혁신적인 패턴 인식 알고리즘을 제공하여 중요한 설계 무결성을 유지하는 데 도움이됩니다. 생산성을 극대화하기 위해 2135는 빠른 다운로드 속도, 실시간 이미지 처리, 자동 다이 검사, 제품 결함의 실시간 평가를 제공합니다. 이 도구를 사용하면 터치스크린을 지원하는 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 프로세스를 쉽게 설정하고, 데이터에 액세스하고, 동시에 여러 웨이퍼를 검사할 수 있습니다. KLA/TENCOR 2135는 직관적이고 친숙한 사용자 지향 GUI 및 특수 고급 소프트웨어 기능으로 생생하게 구현됩니다. 사용이 간편한 기능을 통해 모든 기술 수준의 운영자들은 고급 성능 (Advanced Performance) 기능을 통해 신속하게 혜택을 누릴 수 있습니다. 결론적으로, KLA 2135는 반도체 산업을위한 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 자산이며, 강력한 결함 분석 기능을 통해 빠른 속도로 고정밀 이미징을 제공합니다. 고급 기능과 사용자 친화적인 기능을 통해 대용량 운영 요구에 이상적입니다.
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