판매용 중고 KLA / TENCOR 2135 #9195908

KLA / TENCOR 2135
ID: 9195908
Wafer inspection system.
KLA/TENCOR 2135는 현대 반도체 생산을 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고해상도 이미징 기술을 사용하여 반도체 부품의 제작에 사용되는 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 를 정확하고 신속하게 검사합니다. 이 단위는 스크래치, 미립자 등 표면 결함 (예: 스크래치, 미립자) 과 공백, 핀홀 (pinhole) 과 같은 하위 면 결함 (subsurface defect) 을 모두 감지할 수 있습니다. KLA 2135는 광학 열로 구성되어 있으며, 여기에는 광원, 조명 광학, 렌즈와 함께 이미지 분석 머신 (스캐닝 형상, 기계식 스캐닝 단계, 이미지 처리 소프트웨어 포함) 이 포함됩니다. 광학 열에는 브라이트필드 브라이트필드 조명기 (brightfield illuminator), 편광된 브라이트필드 조명기 (brightfield illuminator) 및 비스듬한 조명기 (oblique illuminator) 가 있으며, 모두 다양한 깊이에서 표면 및 지하 결함을 감지하는 데 필요합니다. 또한이 도구에는 넓은 시야와 높은 숫자 조리개 (aperture) 가 있습니다. TENCOR 2135의 이미지 분석 (image analysis) 자산은 빠른 속도와 높은 정확도로 이미지를 분석하도록 설계되었습니다. 이미지 처리 (image processing) 소프트웨어는 결함을 실시간으로 감지, 분류하여 신속한 응답 시간을 단축하고 생산성을 높일 수 있습니다. 또한이 모델에는 웨이퍼 검사 알고리즘 (Wafer Inspection Algorithm) 이 있으며, 이 알고리즘은 생성 된 잘못된 경보 수를 줄이기 위해 설계되었습니다. 2135 는 자동 (automated) 생산 라인에 통합되어 기존 시설에 쉽게 통합할 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 장비는 항복 관리, 프로세스 제어, 추적 및 추적 시스템 (Track and Trace System) 과 같은 다른 시스템과 상호 작용할 수 있습니다. 또한 KLA/TENCOR 2135에는 사용자 친화적 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 가 장착되어 있어 시스템을 빠르고 쉽게 설정하고 사용할 수 있습니다. KLA 2135 은 현대 반도체 생산에 필수적인 도구로서, 사용자에게 고해상도 이미징 기술, 이미지 분석 기능, 기타 시스템 통합 등을 제공합니다. TENCOR 2135 (TENCOR 2135) 을 통해 제조업체는 마스크와 웨이퍼의 표면 및 지표면 결함을 빠르고 정확하게 감지하여 빠르고, 더 효율적으로 생산할 수 있습니다.
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