판매용 중고 KLA / TENCOR 2135 #9189621

KLA/TENCOR 2135는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 우수한 결함 감지 정확도 및 민감도로 고속 자동 웨이퍼 (Automated Wafer) 검사를 제공하여 안정적인 웨이퍼를 확인할 수 있습니다. 이 장치는 고해상도 CCD 카메라, 광학 시스템과 같은 고급 광학 (optic) 과 이미징 (imaging) 기술을 사용하여 높은 정확도와 신뢰성을 제공합니다. 이미지 획득, 이미지 처리, 결함 감지 서브시스템 등 3 가지 주요 구성 요소로 구성되어 있습니다. 이미지 획득 하위 시스템은 고해상도로 웨이퍼 이미지를 캡처합니다. 이 구성 요소는 여러 개의 카메라로 구성되며, 원하는 검사 해상도에 따라 CCD 및 CMOS 카메라와 같은 다른 카메라 유형을 포함 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 웨이퍼 표면의 변형을 조정하기 위해 레이저 기반 높이 보상 시스템을 통합합니다. 이미지 처리 (image processing) 서브시스템은 원시 이미지를 결함 검출 (defect detection) 에 적합한 형태로 변환하기 위해 여러 복잡한 작업을 수행합니다. 여기에는 이미지 분석, 이미지 클리닝, 이미지 스티칭, 이미지 정렬, 이미지 등록, 이미지 세분화 및 이미지 등록이 포함됩니다. 이미지 처리 하위 시스템은 또한 구덩이, 공백, 균열, 긁힘 등 다양한 유형의 결함을 인식 할 수 있습니다. 결함 감지 (Defect Detection) 하위 시스템은 웨이퍼의 결함을 자동으로 감지하고 현지화합니다. 이는 픽셀 레벨 분석, 색상 히스토그램, 선형 스캔 (linewise scan) 과 같은 광학 및 결함 감지 알고리즘의 조합을 통해 수행됩니다. 이 도구는 또한 감지된 결함을 다양한 결함 유형으로 분류 할 수 있습니다. KLA 2135는 신뢰할 수있는 품질 보증 서비스를 제공 할 수있는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 자산입니다. 이 모델에 내장된 고정밀 (High-Precision) 옵틱과 이미징 기술을 사용하면 가장 작은 결함까지도 빠른 속도로 정확하고 민감하게 감지, 분류, 지역화할 수 있습니다. 따라서 결함 평가, 품질 보증, 반도체 제작과 같은 애플리케이션에 적합합니다.