판매용 중고 KLA / TENCOR 2135 #9144798
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KLA/TENCOR 2135는 반도체 산업을 위해 설계된 정교한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 최신 기술을 바탕으로 제작된 이 툴은 웨이퍼 (Wafer) 와 마스크 (Mask) 에 대한 다양한 기능을 정확하게 측정하고 검사할 수 있습니다. 이 시스템은 14.5m 픽셀 크기의 고해상도 CCD (High-resolution CCD) 검출기를 자랑하여 매우 작은 결함을 식별 할 수 있습니다. 운영자 워크로드를 줄이기 위해, 기계에는 고속 웨이퍼 로더가 장착되어 있으며, 한 번에 최대 20 개의 웨이퍼를 처리합니다. KLA 2135는 레이저 전송 이미징 (LTI) 기술을 사용하여 동일한 웨이퍼 (wafer) 의 여러 이미지를 사용할 수 있으므로 주어진 피쳐의 기하학적 측정을 정확하게 계산할 수 있습니다. 측정 정확도를 더욱 향상시키기 위해 도구는 자동 초점 알고리즘 (auto-focusing algorithm) 을 통합하여 웨이퍼 (wafer) 의 초점 또는 기울기 문제를 보완합니다. 또한, 통합 에지 탐지 알고리즘 (integrated edge detection algorithm) 을 통해 에셋은 결함 모서리를 정확하게 찾을 수 있으며, 모델의 결함 식별 및 찾기 능력을 향상시킵니다. 장비의 분석 및 포스트 프로세스 기능은 똑같이 인상적입니다. 피쳐 측정, 모서리 분석, 결함 분석 등 광범위한 분석 기능을 통해 운영자가 이미지를 빠르고 정확하게 조사할 수 있습니다. 또한 지능형 보고서 생성기는 데이터 스토리지 및 시스템 분석을 단순화합니다. 보고서 템플릿은 서로 다른 고객 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 전반적으로 TENCOR 2135 (TENCOR 2135) 는 다른 시스템에 도달 할 수있는 레벨에서 신뢰할 수있는 마스크 및 웨이퍼 측정 및 검사를 제공합니다. 이 툴은 첨단 기술과 고속 성능 (High Speed Performance) 을 통해 엔지니어와 과학자들이 웨이퍼 (Wafer) 및 마스크 검사 프로세스에서 최고의 정밀도를 달성 할 수 있습니다.
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