판매용 중고 KLA / TENCOR 2135 #9004617

KLA/TENCOR 2135는 패턴 마스크 및 웨이퍼의 결함을 식별, 분석 및 수정하기위한 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 결함 관리 (Disect Management) 및 프로세스 최적화 (Process Optimization) 를 위한 자동화된 장치를 갖추고 있어 제조 처리량 및 프로세스 안정성이 가장 뛰어납니다. KLA 2135 머신에는 마스크 및 웨이퍼의 패턴 이미지를 캡처하는 2k 메가 픽셀 이미징 카메라 (2K 메가 픽셀) 와 같은 고해상도 고급 이미징 도구가 장착되어 있습니다. 고감도 해상도 및 검토 기능으로 최대 200 개의 마스크와 200 개의 웨이퍼를 동시에 검사할 수 있습니다. 강력한 소프트웨어를 사용하면 결함 및 기타 이상에 대해 신속하게 감지, 분석, 보고할 수 있으며, 이는 탁월한 수준의 정확도입니다. 이 도구는 단일 브레이크 (single break) 및 쇼트 (shorts) 와 같은 작은 결함을 감지하고 분리할 수 있으며 침입 물체, 입자, 스크래치 및 패턴 잘못 정렬과 같은 더 큰 기능을 사용할 수 있습니다. 또한 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 다양한 특수 기능 (예: 현장화 프로세스 측정 및 모니터링을위한 CMP (Chemical Mechanical Polishing) 머신에 연결하는 기능) 을 제공합니다. 또한 TENCOR 2135 자산은 검사, DRC/LRC 및 특성 (Characterization) 기능을 제공하여 전체 프로세스를 더욱 잘 파악할 수 있습니다. 이러한 피쳐를 사용하여 포토마스크 (photomask) 또는 웨이퍼 (wafer) 에 커밋하기 전에 패턴의 모든 이상을 감지할 수 있으므로 전체 제품 품질이 보장됩니다. 이 모델은 또한 여러 개의 포토 마스크 및 웨이퍼를 비교하여 마스크-스킴 차이를 감지하는 동시에 패스/페일 (pass/fail) 보고서를 생성 할 수 있습니다. 2135 는 자동화된 결함 관리 및 프로세스 최적화 기능을 제공하는 고성능 마스크 (mask) 및 웨이퍼 (wafer) 검사 시스템을 구현하려는 제조업체에 이상적인 솔루션입니다. 강력한 소프트웨어와 첨단 이미징 기술 (Advanced Imaging Technologies) 은 최고 수준의 정확성과 처리량을 제공하여 제조업체의 운영 프로세스 효율성 향상, 비용 절감 효과를 제공합니다.