판매용 중고 KLA / TENCOR 2135 #192496
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판매
ID: 192496
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2000
Patterned wafer defect inspection system, 6"
Handler: 6" open cassette (x2)
Cassette handling: vacuum handling open handler
Robot: KLA robot, single end-effector
Inspection station module: KLA2135-IS
User interface module: KLA2135-UI
Chuck type: low contact (dimpled)
Light spectrum: visible 2.9
Pixel size in um: 0.62, 0.39, 0.25
CE Marked
PC configurations:
CPU: PII 300 MHz
Memory: 512M
OS: Windows NT
3.5” floppy drive
Application software: version 5.3.084
GEM/SESC (HSMS)
Network comm.: BNC, Ethernet (Cat 5)
Fan (blower) Unit
Remote power disconnect panel
Facilities:
Line conditioner: 208 V, 50 A, 3 phase, 50/60 Hz
Inspection station: CDA 80 PSI measured at the main system regulator
Performance requirement:
DSW75 capture rate > 90%.
DSW75 repeatability > 95%
User Manual
2000 vintage.
KLA/TENCOR 2135는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 모든 기판에서 입자 수준 오염을 감지하고 측정하는 고급 알고리즘 기술을 사용하여 고정밀 결함 감지를 제공합니다. 이 시스템은 뛰어난 이미지 품질, 빠른 처리량, 향상된 프로세스 최적화 기능을 제공합니다. KLA 2135 은 뛰어난 동적 범위 이미지를 제공하며, 레이저 스캐닝, 전자 빔 스캐닝, 패라메트릭 분석 등 다양한 고해상도 스캐닝 기술을 사용합니다. TENCOR 2135 장치는 다양한 고성능 기능을 제공하여 전자 부품을 정확하고 안정적으로 검사합니다. 이 기계는 고품질 이미지로 나노 미터의 결함을 감지 할 수 있습니다. 따라서 입자 오염, 공백, 긁힘, 기타 광학 오염 물질 등 다양한 프로세스 관련 결함을 감지하고 측정하는 데 이상적입니다. 또한 업계 최고의 스캐너 기술과 고수율, 정확한 검토, 위상 이동 (phase shift) 분석을 지원하는 고급 이미지 분석 알고리즘을 제공합니다. 자산의 고급 결함 분류 (Advanced Defect Classification) 기능을 사용하면 표면 수준의 결함을 식별하고 분류할 수 있으며, 다중 스펙트럼 이미징 (Multi Spectral Imaging) 기술을 통해 다양한 마스크 유형을 검사하여 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 자동화된 프로세스 최적화 (Automated Process Optimization) 기능을 통해 모든 이미징 프로세스에서 얻은 결과에 따라 프로세스를 신속하게 분석, 최적화할 수 있습니다. 2135 장비는 또한 높은 처리량 검사 기능을 제공하여, 수작업 없이 빠르고 효율적인 스캐닝을 지원합니다. 또한 기본 제공되는 결함 추적 (Defect Tracking) 및 문서 시스템 (Documentation System) 을 통해 여러 이미지의 결함을 추적하고 검토할 수 있습니다. 결함의 정확하고 안정적인 감지 및 비교를 위해 KLA/TENCOR 2135 장치는 결함 감지 및 특성화에 고급 알고리즘 기술을 사용합니다. 이러한 알고리즘은 결함 식별 (Defect Identification) 및 검증 (Qualification) 프로세스의 효율성과 정확성을 극대화하여 뛰어난 이미지 품질을 보장하고 프로세스 최적화를 실현하도록 설계되었습니다. 전체적으로, KLA 2135 기계는 제조 환경의 결함 감지 및 특성화를위한 고급적이고 비용 효율적인 솔루션입니다. 뛰어난 화질, 빠른 처리량, 자동화된 프로세스 최적화, 효율적인 결함 추적을 통해 고정밀 결함 감지를 제공합니다. TENCOR 2135 도구는 품질과 성능을 결합하여, 고급적이고, 효율적이며, 신뢰할 수 있는 마스크, 웨이퍼 검사 자산을 찾는 모든 제조업체에 이상적인 선택입니다.
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