판매용 중고 KLA / TENCOR 2135-IS #293620770

KLA/TENCOR 2135-IS는 고급 이미징, 분석 및 보고 기능을 갖춘 고성능, 고수율, 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 가변 크기의 뷰 (field of view) 를 제공하며 브라이트필드와 다크필드 이미징 모두에서 뛰어난 이미지 해상도를 제공합니다. KLA 2135-IS 장치는 조명기, 고급 동적 이미징, 레이저 패턴 인식, 독특한 멀티 뷰 이미징 기술의 도움으로 복잡한 마스크 또는 웨이퍼에서 가장 작은 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 도구에서 사용하는 고급 이미징 기술을 사용하면 고품질, 결함 중심 이미지 분석을 수행할 수 있습니다. 에셋에는 1.3 메가 픽셀, 8 비트 CCD 어레이 검출기 및 50 메가 픽셀, 12 비트 CCD 어레이 검출기를 포함한 여러 검출기가 있습니다. 1.3 메가 픽셀 (Megapixel) CCD 어레이 검출기는 고해상도 이미징에 대한 감도 수준이 높으며, 50 메가 픽셀 (50 Megapixel) CCD 어레이는 더 복잡한 패턴을 가진 더 큰 웨이퍼에 사용됩니다. 검출기 크기와 이미징 (Imaging) 기능이 크므로 대형 웨이퍼 (Wafer) 에서도 가장 작은 결함을 감지하고 분석할 수 있습니다. TENCOR 2135-IS의 주요 기능 중 하나는 멀티 포인트 UV 및 적외선 레이저 패턴 인식입니다. 이 기능은 웨이퍼에 레이저가 정의한 오버레이 피쳐와 프로세스 레이어의 정확한 매핑을 제공하며, 웨이퍼 이미지 (wafer image) 를 미리 정의된 참조 이미지에 실시간으로 비교하여 결함을 효율적으로 감지 할 수 있도록 합니다. 이 모델에는 마스크 또는 웨이퍼 이미지의 빠르고, 자동화되고, 결함 특성화와, 분류가 가능한 고속 결함 캡처 장비도 있습니다. 사용자는 시스템 내의 결함에 쉽게 액세스, 제거, 저장 및 분류할 수 있습니다. 이 장치에는 결함 감지 기능 외에도 강력한 데이터 분석/보고 툴이 포함되어 있어 결함 크기, 유형 (type), 위치 (location), 심각도 (severity) 등 다양한 통계 지표로 상세한 보고서를 생성할 수 있습니다. 전체적으로 2135-IS 머신은 고성능, 고수율 결과를 제공하도록 설계된 완벽한 마스크 및 웨이퍼 검사 솔루션을 제공합니다. 이 툴은 제조업체와 Fabs 가 높은 품질의 제품 일관성을 보장하고, 까다로운 볼륨 제조 요구 사항을 충족하도록 지원합니다.