판매용 중고 KLA / TENCOR 2133 #293818650

KLA / TENCOR 2133
ID: 293818650
빈티지: 2011
Wafer inspection system 2011 vintage.
KLA/TENCOR 2133은 전문적인 등급의 멀티 센서 웨이퍼 검사 장비로, 대용량 스캔 이미징, 검사 및 프로세스 제어를 위한 고급 기능을 제공합니다. 이 시스템은 생산 라인 (production line) 애플리케이션에 적합하며, 대규모 시야와 고속 자동화 (high-speed automated) 작업이 성가신 결함을 안정적으로 감지합니다. KLA 2133 장치의 코어는 가시성, 근적외선 및 전자 빔을 포함하여 최대 5 개의 이미징 채널을 갖춘 멀티 채널 이미지 획득 머신입니다. 각인, 오염 물질, 결함, 지형 및 도펀트 농도를 감지하는 데 다양한 검사 기술을 사용할 수 있습니다. 이 도구는 다양한 해상도로 작동 할 수 있으며, 질적 (qualitative) 분석과 양적 (quantitative) 분석을 모두 제공합니다. 에셋은 또한 이미지 자동 정렬 (automated alignation of image) 및 진동 아티팩트를 줄이기 위한 활성 서스펜션 모델 (Active Suspension Model) 을 포함하여 다양한 추가 기능을 제공합니다. 모서리 개선, 노이즈 감소, 이미지 스티칭 등 다양한 포스트 프로세싱 작업도 가능합니다. TENCOR 2133 장비는 운영 환경의 처리량이 많은 요구 사항을 충족하도록 조정되었습니다. 자동 보정, 자동 초점 등의 자동화된 기능은 높은 정확성과 안정적인 성능을 보장합니다. 또한, 특정 응용 프로그램에 맞게 사용자 정의 검사 매개변수로 시스템을 설정할 수 있습니다. 또한 2133은 다이 레벨 정렬 (die-level sorting) 및 백사이드 검사 (backside inspection) 와 같은 스캔 프로그램을 지원하는 옵션 제어 모듈을 제공합니다. 이 기능은 운영 환경에 대한 장치의 다양성을 더욱 향상시킵니다. 즉, 빠른 처리 시간 (turnaround time) 및 안정적인 수율을 위해 다양한 검사 프로토콜을 지원할 수 있기 때문입니다. 또한 KLA/TENCOR 2133 기계는 여러 사용자 정의 도구와 외부 시스템에 대한 접근성을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 사용자 지정 검사 레시피, 실시간 데이터 수집, 분석, 전문 분석/보고 툴을 액세스할 수 있습니다. 전체적으로 KLA 2133 툴은 까다로운 운영 운영 환경에서 고급 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 기능을 필요로 하는 고객에게 이상적인 솔루션입니다. 멀티채널 이미징, 고급 포스트 프로세싱 툴, 자동화된 기능, 통합 기능을 통해 유연하고 안정적인 선택이 가능합니다.
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