판매용 중고 KLA / TENCOR 2132 #9395743

KLA / TENCOR 2132
ID: 9395743
Wafer inspection system.
KLA/TENCOR 2132는 마스크 및 웨이퍼 검사를 위해 설계된 최첨단 검사 장비입니다. 그것 은 직경 이 2 내지 6 "인치 '인" 웨이퍼' 를 처리 하고 "마스크 '와" 웨이퍼' 에 대한 완전 한 "디지털 '검사 를 할 수 있다. KLA 2132는 단일 광자, 레이저 기반 탐지 시스템을 사용하여 웨이퍼 양쪽의 결함 수준을 감지하고 정량화합니다. 이 장치는 각 웨이퍼에 대해 수십억 개의 데이터 포인트 (data point) 를 생성하여 웨이퍼 전체 표면을 포괄적으로 분석합니다. 이 분석에는 입자 크기, 입자 유형, 결함 윤곽선 정보, 이미지 상관 관계 및 전반적인 결함 특성이 포함됩니다. TENCOR 2132는 결함을 감지하고 정량화하는 것 외에도, 추가 분석을 위해 고해상도 결함 이미지를 생성할 수도 있습니다. 이 기계는 WIPL, OPC 및 VFL을 포함한 다양한 산업 표준과 호환됩니다. 또한, 이 도구를 사용하여 한 번의 실행으로 여러 웨이퍼를 검사할 수 있으며, 실행 시간은 2 분 미만입니다. 이 자산은 또한 웨이퍼 처리 (wafer handling) 및 정렬 (sorting) 을 위한 고급 로봇 공학을 통합하여 효율적인 워크플로를 보장하고 인건비를 절감합니다. 2132는 단일 미크론 (micron) 까지 해상도를 낮추면서 비교할 수없는 검사 정확도를 제공 할 수 있습니다. 이 모델에는 웨이퍼 (Wafer) 의 가장 작은 결함조차도 쉽게 감지하도록 설계된 고급 (Advanced) 알고리즘이 장착되어 있습니다. 또한, 이 장비는 최대 12,000wpm의 이미징 속도를 갖춘 고속 이미징 기능을 제공하도록 설계되었습니다. KLA/TENCOR 2132는 완벽한 마스크 및 웨이퍼 검사 솔루션을 제공하기 위해 설계된 고성능 시스템입니다. 첨단 Optics, Robotics, Detection 알고리즘을 통해 고속 이미징 및 데이터 분석 기능으로 탁월한 정확성을 제공할 수 있습니다. 최고 수준의 정확성과 신뢰성을 요구하는 모든 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다 (영문).
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