판매용 중고 KLA / TENCOR 2132 #9383459

KLA/TENCOR 2132는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 제조업체가 반도체 장치의 품질을 보장하도록 도와줍니다. 포토 마스크 (photomask), 엔지니어링 도면 및 기타 새로 제조 된 금속 및 유전층의 결함을 감지하고 특성화하는 데 사용됩니다. KLA 2132 시스템은 WIS (Wafer Inspection Unit) 와 MIS (Mask Inspection Machine) 의 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. WIS 구성 요소는 포장되지 않은 웨이퍼에 대해 광학 검사를 수행하고 전기 테스트 (Electrical Testing) 및 다이 (Die) 분석을 위한 필수 프로세스 및 결함 데이터를 수집합니다. 또한 균일성 (unifority), 기하학적 배치 및 웨이퍼 임계 치수에 걸쳐 웨이퍼 매개변수를 확인합니다. MIS 컴포넌트는 필링 (peeling) 이나 오염 (contamination) 과 같은 심각한 결함을 감지하여 의도한 설계 레이아웃과 비교하도록 설계된 photomask 공백을 다이-투-다이 (die-to-die) 검사합니다. TENCOR 2132 도구는 고해상도 디지털 이미징, 오프 축 조명, 자동 위상 이동, 향상된 이미지 획득을 위한 특수 광학 구성 요소 등 다양한 고급 기술을 사용합니다. 이미징 기능을 통해 나노미터 배율 (nanometer scale) 까지 기하학적 측정 및 결함 특성화가 가능하며, 이는 제조 공정 초기에 문제를 식별하는 데 도움이됩니다. 이 자산에는 자동 대상 선택 (automatic target selection) 및 평가 프로세스 (evaluation process) 와 같은 여러 가지 기본 제공 품질 보증 기능도 포함되어 있습니다. 이는 검사 시간을 줄이고, 대량 생산 전에 가장 심각한 결함이 확인되도록 하는 데 도움이 됩니다. 이 모델은 투명한 결함 분류 (transparent defect classification) 방법을 지원하며 데이터베이스 시스템과의 통합을 용이하게 합니다. 따라서 다른 도량형 솔루션과의 통합에 적합하며, 자동화된 결함 추적 및 특성화가 용이합니다. 또한, 이 장비는 빠른 데이터 스토리지 (fast data storage) 를 제공하여 제조업체가 시간이 지남에 따라 변경 사항을 추적하고 비교할 수 있습니다. 전체적으로, 2132는 제조업체가 품질 장치를 생산할 수 있도록 자동화된 고정밀 웨이퍼 및 마스크 검사 시스템입니다. 사용자는 장치 통합, 결함 감지, 제조 분석을 위한 안정적이고 효율적인 플랫폼을 제공합니다.