판매용 중고 KLA / TENCOR 2132 #9377282

KLA/TENCOR 2132는 웨이퍼 패턴, 결함 및 시스템 성능을 분석하기 위해 설계된 다중 센서 마스크 및 웨이퍼 결함 검사 장비입니다. 이 장치는 반도체 웨이퍼 및 마스크 표면에서 미세한 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 제품은 적외선, 가시성 (visible), 자외선 검사 기술을 포함한 다양한 광학 기술을 활용하여 다양한 입자 크기, 모양, 조성을 감지합니다. 완전한 결함 감지를 위해 이진 및 회색 음영 기능을 모두 매핑 할 수 있습니다. KLA 2132의 자동 튜닝 머신 (auto tuning machine) 은 각 웨이퍼에 대한 수동 조정없이 다른 웨이퍼를 검사 할 수 있습니다. 고급 다중 이미지 기능으로 필드당 최대 32 개의 검사를 수행할 수 있습니다. 또한, 전체 웨이퍼 표면에 대해 로드가 많은 데이터 세트를 실시간으로 처리할 수 있습니다. 또한 HiDef 표면 획득 기술, 일반적인 이미징 아티팩트를 제거하도록 설계된 독점 웨이퍼 이미징 기술을 갖추고 있습니다. TENCOR 2132는 다양한 패턴 및 결함 검사에 적합합니다. 저대비 (low-contrast) 결함과 고대비 (high-contrast) 결함을 식별하고 1 나노미터 (nanometer) 미만의 크기로 구분 할 수 있습니다. 또한 이미지 이동을 0.002 미크론 미만으로 판별 할 수 있습니다. 고객 요구 사항을 충족하고 제품 성능을 보장하기 위한 기후 통제 환경이 구축되어 있습니다. 기후 조절 도구 (Climate Control Tool) 는 수동 온도 조정의 필요성을 없애고 성능을 최적화하기 위해 검사 챔버에 균일 한 온도를 제공하도록 설계되었습니다. 자체 레벨링 웨이퍼 척은 빠르고 정확한 웨이퍼 배치를 허용합니다. 2132에는 포괄적인 소프트웨어 통합 기능이 있습니다. 모든 기능을 갖춘 인체 공학적 (ergonomic) GUI (Graphical User Interface) 와 구성 기능이 뛰어난 대시보드를 통해 여러 사용자가 웨이퍼 패턴과 결함을 동시에 검사하고 분석할 수 있습니다. 데이터 수집 및 관리 작업의 자동화를 지원하며, 완벽한 네트워킹 솔루션을 제공합니다. 자산은 생산과 연구의 엄격한 요구를 위해 설계되었습니다. 모듈 식 설계로 인해 생산 요구가 커짐에 따라 모델이 확장 될 수 있습니다. 이 서비스는 KLA (종합적인 서비스 및 지원 네트워크) 의 지원을 받아 현장 서비스, 24/7 기술 지원 및 일상적인 유지 보수 프로그램을 제공합니다.