판매용 중고 KLA / TENCOR 2132 #9277331

KLA/TENCOR 2132 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 200 나노 미터 (nm) 두께의 기판에서 높은 정확도와 해상도의 결함을 감지하는 데 사용되는 완전 자동 이미징 및 검사 장치입니다. 이 시스템은 최대 60 개의 테스트 사이트를 병렬로 자동 광학 이미징, 조명 및 검사합니다. KLA 2132는 고해상도 픽셀 센서 기술을 사용하여 마스크/웨이퍼 표면의 이미지를 캡처하고 미리 프로그래밍된 결함 매개변수 세트와 비교합니다. TENCOR 2132에는 감도가 높은 미세 기능을 검사하는 고급 AASIS-TACT (Advanced Automated Structural Inspection Unit - Ternary Aerochip Trias) 기술도 있습니다. AASIS-TACT는 정확도가 높은 고핀 카운트 장치를 검사하도록 특별히 설계되었습니다. 3 차원 파형 분석을 사용하여 기판의 결함을 자동으로 격리, 측정 및 특성화합니다. 이를 통해 2132 는 검사 중 결함 크기, 모양, 표면적, 모서리 기울기 등의 자동 스캔 및 측정 기준을 제공합니다. 이 기계는 빠른 처리량을 제공하며, 시간당 최대 8 개의 웨이퍼를 제공하며, 내장 BGA 뷰 포인트 감지 도구를 갖추고 있습니다. 이를 통해 가능한 최단 시간 내에 장애 분석을 수행할 수 있습니다. 또한 KLA/TENCOR 2132에는 유사한 이미지로 마스크를 빠르게 측정할 수 있는 Auto-Match 기능이 있습니다. 자산은 자동화되고 사용자 친화적이며, 운영자 입력이 최소화되어야 합니다. 업계의 변화하는 요구를 충족할 수 있는 신뢰성, 유연성, 포괄적인 기술 지원 (Technical Support) 이 지원됩니다. KLA 2132 마스크 및 웨이퍼 검사 모델은 비용 효율적이고 사용자 친화적인 패키지로 고성능, 변동성, 정확성을 제공하므로 이미지 자동 분석 (Automated Imaging and Defect Analysis) 에 이상적인 솔루션입니다.