판매용 중고 KLA / TENCOR 2132 #9265300

KLA / TENCOR 2132
ID: 9265300
Wafer inspection system, parts machine.
KLA/TENCOR 2132는 웨이퍼 및 마스크의 결함을 감지하는 데 사용되는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 제품은 반도체와 옵토 (opto) 전자 업계에서 사용되어 사양에 부합하고, 고객 요구 사항을 충족하며, 오염 물질과 결함이 없습니다. 이 시스템은 고급 광학 및 고해상도 디지털 이미징 (optical and high-resolution digital imaging) 을 사용하여 웨이퍼 및 마스크 표면의 이미지를 제공하여 결함을 명확하고 정확하게 식별할 수 있습니다. 검사 장치에는 자동 이미지 획득 및 분석 (automatic image acquisition and analysis) 기능이 있으며, 작은 이미지 기능과 결함에 대한 하위 픽셀 해상도 데이터를 제공합니다. KLA 2132 기계는 여러 이미징 및 분석 기술을 결합하여 마스크 및 웨이퍼 (예: 가장자리 결함, 필름 범프, 누락 된 구조) 의 결함을 감지합니다. 이 도구에는 큰 교정을 캡처하기 위한 내장형 디매그니퍼 (demagnifier) 가 장착된 고급 컬러 카메라 (advanced color camera) 와 높은 처리량 검사를 위한 패턴 인식 엔진 (pattern recognition engine) 이 포함되어 있습니다. TENCOR 2132는 스캔 및 표시, draw matching, defect library creating 등 다양한 결함 조판 기술을 사용합니다. 또한, 자산은 자동 결함 검토 프로세스를 통합하여 수동 검사 프로세스 속도를 높입니다. 이 모델을 사용하면 결함 유형 (defect type) 과 분류 기준 (classification criteria) 을 만들거나 사용자정의하여 자신의 특수한 결함을 분석 및 해결할 수 있습니다. 검사 장비는 고객의 검사 요구와 기본 설정을 수용할 수 있는 다양한 옵션을 제공합니다 (영문). 이러한 옵션에는 맞춤형 애플리케이션을 위한 시스템의 이미징 및 분석 기능, 확장 가능한 보고 제품군 (Expandable Reporting Suite), 데이터 전송 추가 기능 (옵션) 등이 포함됩니다. 2132 장치는 웨이퍼와 마스크를 검사하는 효율적인 방법입니다. 고급 이미징/분석 기술, 자동화된, 효율적인 데이터 전송 기능을 통해 제조업체는 몇 초 만에 정확한 결과를 얻을 수 있으며, 시간 및 비용을 절감할 수 있습니다. 또한 이 시스템은 고객의 검사/보고 요구 사항을 충족할 수 있는 다양한 옵션을 제공합니다 (영문).
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