판매용 중고 KLA / TENCOR 2132 #9167971
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KLA/TENCOR 2132 Mask & Wafer Inspection 장비는 마이크로 칩 웨이퍼 및 마스크의 복잡한 형상 내에 내장된 다양한 기능을 식별하고 평가하는 데 사용되는 자동 검사 시스템입니다. 이 널리 채택된 장치는 반도체 업계에서 최고 수준의 품질 제어 (Quality Control), 정확성 (Accuracy) 및 생산성을 보장하기 위해 사용됩니다. 이 기계는 고급 TLST (Tencorcore Laser Scanning Technology) 플랫폼을 기반으로하며 opitcal projection (OP), 백사이드 조명 (BI), focusing-split (FS) 및 through-silicon-via (TSV). 이 네 가지 구성 모두 뛰어난 이미지 해상도 (image resolution) 와 이미지 깊이 (image depth) 를 제공하여 동일한 이미징 도구 내에서 다양한 각도에서 대상 피쳐를 분석할 수 있습니다. 이는 장애 분석, 프로세스 단계 확인, 2D/3D 리소그래피 분석, 항복 모니터링 등과 같은 애플리케이션에 특히 중요합니다. TLST 플랫폼을 기반으로 하는 KLA 2132 자산은 고급 장애 분석 및 프로세스 모니터링에 사용되는 정밀 엔지니어링 도구입니다. 실시간 처리량과 유연한 모델 구성을 통해 고급 이미지 캡처 및 분석 기능을 제공합니다 (영문). 모든 광 구성 (optical configuration) 에는 여러 높이 데이터 세트에 슬라이싱 웨이퍼 서피스 (slicing wafer surface) 기능이 포함되어 있어 대상 레이어의 정확성을 측정하고 주변 피쳐를 평가할 수 있습니다. 이러한 방식으로, 사용자는 제조 과정에서 발생하는 오류를 빠르고 정확하게 식별할 수 있습니다. TENCOR 2132에는 고급 반도체 및 고급 전자 검사 능력도 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 직관적이고 강력한 검사 추적 가능성, 강력한 데이터 분석, 실시간 피드백 (feedback), 종합적인 결함 검토 도구 등 다양한 기능에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 이를 통해 고급 프로세스 제어 및 페이지를 페이지하여 보증을 얻을 수 있습니다. 요약하자면, 2132 는 반도체 업계가 보다 높은 수준의 정확도와 품질 제어를 위해 설계된 고급 마스크 & 웨이퍼 (mask & wafer) 검사 장비입니다. 고급 이미지 캡처 (advanced image capture) 및 분석 옵션 (analysis options) 은 실시간 처리량 및 유연한 시스템 구성과 결합하여 고급 장애 분석 및 프로세스 모니터링을 위한 완벽한 툴입니다.
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