판매용 중고 KLA / TENCOR 2132 #9159041

KLA/TENCOR 2132는 마스크 및 웨이퍼 검사를 위해 특별히 설계된 광학 검사 장비입니다. 고급 조명 기반 이미징 기술과 소프트웨어를 결합하여 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 표면에 대한 포괄적이고 고정밀도 있는 분석을 제공합니다. 시스템은 여러 개별 컴포넌트로 구성됩니다. 고해상도 카메라 모듈은 마스크 및 웨이퍼의 이미지 데이터를 수집하는 데 사용됩니다. 그런 다음, 카메라 모듈을 정밀 프레임 스캐닝 장치 (precision frame scanning unit) 에 연결하여 각도 또는 방향이 다른 여러 이미지를 얻기 위해 카메라와 샘플을 미리 정의된 패턴으로 이동합니다. 고정밀 레이저 스팟 포지셔닝 머신 (high-precision laser spot positioning machine) 은 x 축과 y 축 모두에서 샘플 피쳐를 획득하고 분석하는 데 사용됩니다. 그런 다음 레이저 스팟 (Laser spot) 피쳐가 자동으로 등록되고 이미징 도구와 정렬되어 정확도가 높아집니다. 데이터가 수집되면, 정보는 분석 컴퓨터로 전송됩니다. 이 분석 컴퓨터는 데이터를 처리하고 입자 감지, 텍스처 측정, 전압 대비, 스펙트럼 선택, 마스크 검사, 웨이퍼 검사 등 다양한 검사를 수행합니다. 매우 작은 기능, 결함, 결함을 감지하고, 마스크와 웨이퍼에만 해당하는 모든 유형의 문제를 파악할 수 있습니다. KLA 2132는 업계 최고의 속도와 해상도를 제공하며 동급 최고의 반복 기능을 제공합니다. 최소 5 미크론의 클리어런스를 측정 할 수 있으며 1 미크론 정도의 작은 입자를 감지 할 수 있습니다. 또한 3 미크론의 핀-핀 클리어런스를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한, 자산에는 자동 정렬, 자동 존 (zone) 검사, 자동 다이/로트 식별, 자동 결함 인식, 심층적 데이터 분석 기능 등 다양한 고급 기능이 장착되어 있습니다. 모든 데이터를 철저히 검사하고 분석하고, 결함을 신속하게 파악, 카탈로그 작성, 보고할 수 있습니다. TENCOR 2132는 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 안정적인 검사 기능을 제공 할 수있는 진정한 고급 모델입니다. "마스크 '나" 웨이퍼' 가 가장 높은 표준 에 부합 될 것 인지를 보증 해 주는 뛰어난 속도 와 정확성 을 지닌 이 "마스크 '는 광범위 한 산업 을 위한 선택 의 장비 이다. 요컨대, 2132 는 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 이상적인 솔루션입니다.