판매용 중고 KLA / TENCOR 2132 #9139541

KLA/TENCOR 2132는 향상된 성능과 정확성을 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 완벽하게 자동화되었으며 고해상도 CCD 카메라, 자동 정렬 및 초점 시스템, 범용 웨이퍼 로더, 다양한 이미징, 측정 및 정렬 소프트웨어 도구 등 여러 구성 요소가 포함되어 있습니다. 최대 14.2 메가 픽셀 해상도의 고해상도 CCD 카메라는 웨이퍼, 기능, 결함을 상세하게 이미징할 수 있습니다. 이것 은 자동 정렬 "시스템 '과 결합 하여" 카메라' 의 "이미지 '평면 위 에" 마스크' 나 "웨이퍼 '를 안전 하게 정렬 한 다음, 가능 한 최상 의" 뷰' 에 배치 할 수 있다. 유니버설 웨이퍼 로더 (Universal Wafer Loader) 는 웨이퍼를 장치를 빠르고 정확하게 적재하여 제대로 보고 분석 할 수 있도록 하는 데 사용됩니다. KLA 2132 (KLA 2132) 에는 기계가 다양한 기능과 결함의 정확하고 정확한 이미징 및 측정을 수행할 수 있도록 하는 여러 소프트웨어 도구가 포함되어 있습니다. 신호 개선 및 결함 특성화를위한 이미지 처리 (image processing) 기능이 있어 정확한 측정이 가능합니다. 또한, 동일한 마스크 또는 웨이퍼 (wafer) 의 두 이미지를 비교 및 공간 분석을 위해 정렬할 수있는 기능이 있습니다. 하나의 도구인 SEM 이미지 도구 (SEM image tool) 를 사용하면 SEM 이미지를 더 높은 확대율로 볼 수 있어 작은 결함과 나노스케일 (nanoscale) 기능을 시각화할 수 있습니다. 또한, 이 도구에는 광범위한 측정 및 정렬 기능 목록이 제공됩니다. 여기에는 웨이퍼의 모든 기능, 선 너비 및 횡단면 측정, 오버레이 공차 측정, 대상-대상 정렬 등의 정확한 위치가 포함됩니다. 자동 및 수동 데이터 분석을 활성화하는 매크로도 있습니다. TENCOR 2132는 모든 반도체 연구 또는 생산 시설에 필수적인 도구입니다. 고해상도 카메라, 이미징 (imaging), 측정 소프트웨어, 종합적인 정렬 및 측정 기능을 통해 생산성 및 품질 제어가 향상되었습니다. 자동화된 기능 (automated features) 과 수동 제어 옵션 (manual control options) 을 조합하면 높은 수준의 정확도와 정확도가 필요한 작업에 적합합니다.