판매용 중고 KLA / TENCOR 2132 #9009026
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ID: 9009026
웨이퍼 크기: 8"
Wafer defect inspection review system, 8"
System controller
Power module.
KLA/TENCOR 2132는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 매우 반복적이고 복잡한 웨이퍼 및 마스크 구조를 검사하고 분석하도록 설계되었습니다. KLA 2132 시스템은 정확하고 효율적인 마스크 및 웨이퍼 검사를 자랑하며, 최고 수준의 수율로 고급 전자 장치를 제작할 수 있습니다. 이 장치는 저소음 광학 센서로 구성되며, 미크론 레벨 기능을 분석 할 수 있습니다. 또한 다양한 표시 및 패턴을 가진 구조를 검사하는 고해상도 스캔 헤드 (scan head) 가 포함되어 있습니다. TENCOR 2132 기계는 결함 감지 및 장애 분석, 매크로 검사, 간격 확인 등 다양한 애플리케이션을 지원합니다. 4 가지 유형의 구조에서 동시에 최대 12 개의 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한 2132 는 다중 레이어, 이미지 어레이 등 가장 복잡한 구조까지 검사할 수 있습니다. 이 도구의 맞춤형 저소음 (low-noise) 광 설계는 잠재 결함 또는 소형 칩을 감지 할 수 있으며, 기존의 광학 검출기로 식별 할 수 없습니다. 고해상도 스캔 헤드는 구조에 대한 정확하고 상세한 분석 및 자동 이미지 비교를 제공합니다. 자산의 웨이퍼 레벨 감지 능력은 최적의 수율을 보장합니다. 이 모델에는 직관적인 사용자 인터페이스도 포함되어 있으며, 간편하고 간편한 제어판 (control panel) 조작이 가능합니다. 이 장비는 레시피 전송 기능이 자동화되었으며, 수많은 검사 레시피 및 작업이 사전 설치되어 있습니다. 또한 특허를받은 네비게이터 도구를 사용하여 체계적이고 반복 가능한 검사를 할 수 있습니다. KLA/TENCOR 2132는 고급 보고 및 필터링 기능도 지원합니다. 심층 이미지 검토 소프트웨어가 장착되어 있어 원시 (raw) 또는 래스터 (raster) 형식의 심층 이미지 분석이 가능합니다. 전체 해상도, 결함 분류 및 최대 대비 설정을 지원합니다. 또한 고급 데이터 분석 (Advanced Data Analysis) 및 보고 (Reporting) 기능을 통해 결과의 정확성을 크게 향상시킬 수 있습니다. 클라 2132 (KLA 2132) 는 가장 정확한 마스크 및 웨이퍼 검사 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며 뛰어난 품질 보증 결과를 제공합니다. TENCOR 2132 장치는 고급 옵티컬/결함 감지 시스템 (Optical/Defect Detection System) 과 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 뛰어난 장치 제작을 위한 안정적이고 효율적인 도구입니다. 오늘날의 고급형 반도체 업계에서 가장 적합한 선택입니다.
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