판매용 중고 KLA / TENCOR 2132 #293815221

KLA/TENCOR 2132 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 마이크로 전자 장치 제조를위한 매우 정확하고 고속 자동 광학 검사 도구입니다. 첨단 광학 (Optical), 이미지 분석 소프트웨어 (Image Analysis Software) 와 결합된 아트 광학 탐지 시스템 (Art Optical Detection System) 의 상태를 사용하여 전면, 후면 마스크 및 웨이퍼 표면을 빠르고 효과적으로 검사하는 통합 기계입니다. 이 장치는 0.07 m ~ 45 m 크기의 임계 및 비 임계 결함을 모두 감지하도록 설계되었습니다. KLA 2132는 고해상도 5 메가 픽셀 선형 어레이 CCD 카메라 머신을 사용하여 이미지를 초당 20,000 이미지의 속도로 캡처하여 매우 상세한 이미징 속도와 빠른 획득 속도를 제공합니다. 3 개의 FlashMax 고 다이내믹 레인지 광학 컨디셔닝 시스템은 다른 검사 시스템이 종종 할 수없는 장치의 비보호 뒷면을 포함하여 에치 (etched) 또는 비 에치 (non-etched) 웨이퍼의 백사이드 이미징을 허용합니다. 이 도구는 표준 마스크에서 고대비 (high-contrast) 피쳐를 직접 보거나 저용량 이미징 (low-dose imaging) 을 사용하여 photomask 피쳐를 검사할 수 있습니다. 또한, TENCOR 2132는 전면 및 후면 웨이퍼 서피스의 etch 및 print 프로세스 레이어를 검사하는 데 적합합니다. 정교한 이미지 분석 알고리즘은 결함을 빠르고 정확하게 파악하고, 프로세스 성능을 평가하며, 시간이 지남에 따라 웨이퍼 성능의 변화를 추적하는 데 사용됩니다. 2132 와 함께 제공되는 통합 하드웨어/소프트웨어는 탁월한 마스크/웨이퍼 검사 툴입니다. 광범위한 결함을 감지할 수 있을 뿐만 아니라, 매우 안정적이고 빠릅니다. 정확한 이미징, 생산성 향상, 검사 시간 단축 등을 제공하는 KLA/TENCOR 2132 는 마스크/웨이퍼 결함의 감지, 평가를 위한 이상적인 솔루션입니다.