판매용 중고 KLA / TENCOR 2132 #293749965

KLA/TENCOR 2132는 마스크 및 웨이퍼 제작 산업을 위해 특별히 설계된 고급 반도체 검사 플랫폼입니다. 향상된 분석 (analysis) 을 제공하여 제조 프로세스를 보다 효율적으로 제어하고, 제품 개발을 가속화하고, 개선을 실현합니다. 장비는 다중 축 정렬 시스템, 고해상도 측정 헤드, 프로젝션 광학, 이미지 획득 및 처리 장치, 레이저 변위 센서로 구성됩니다. 다중 축 정렬 머신 (multi-axis alignment machine) 을 사용하면 포획된 이미지에 검사에 필요한 모든 관련 데이터 포인트가 포함되도록 웨이퍼를 정확하게 배치할 수 있습니다. 고해상도 측정 헤드 (High Resolution measurement head) 에는 검사로부터 매우 상세한 이미지를 얻을 수 있는 고급 광학 부품이 포함되어 있습니다. 프로젝션 광학을 사용하면 시야가 높아지고 광원 분포가 최적화되어 신호 대 잡음비 (signal-to-noise ratio) 가 크게 향상됩니다. 레이저 변위 센서 (laser displacement sensor) 는 이미지 센서를 기준으로 웨이퍼의 높이, 기울기 및 높이를 측정하는 데 사용됩니다. 또한 다양한 웨이퍼 재료, 두께 및 모양에 대한 빠른 초점을 제공합니다. KLA 2132의 이미지 획득 및 처리 도구는 복잡하고 강력합니다. 사용자 상호 작용을 최소화하고 신뢰할 수 있는 결과를 보장하는 AOI 이미지 크기, 이미지 품질, 해상도를 자동으로 결정합니다. 강력한 Image 취득 및 처리 에셋에는 높은 정확도로 결함을 감지하는 특수 필터와 하위 픽셀 부품 선택 (sub-pixel part selection) 및 자동 포커싱 (automatic focusing) 이 포함되어 있어 효율적인 결함 감지 및 분류에 크게 기여합니다. TENCOR 2132는 정확도가 높은 다양한 결함 유형을 감지, 특성화 및 분류 할 수 있습니다. 고속, 고해상도 이미징 기능을 통해 예상치 못한 다양한 결함을 감지할 수 있습니다. 첨단 현미경 디자인 (Advanced Microscope Design) 과 대량의 현장 심도를 통해 더 중요한 검사를 할 수 있으며, 이는 더 어려운 문제를 해결하는 데 도움이됩니다. 전반적으로, 2132의 강력한 이미징 모델과 강력한 기능은 안정적이고 빠른 마스크, 웨이퍼 검사의 기초가 됩니다. 광범위한 기능 세트와 지능형 이미지 처리 (Intelligent Image Processing) 기능을 통해 결함을 신속하고 정확하게 파악할 수 있습니다. 이러한 기능은 고급 모션 컨트롤 (motion control) 및 초정밀 정렬 (ultra-precise alignment) 과 결합하여 최고 수준의 결함 감지를 가능하게 하며 고품질 생산에 안정성과 안정성을 제공합니다.