판매용 중고 KLA / TENCOR 2132 #293749626

KLA/TENCOR 2132는 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 처리량이 많은 반도체 제작이 가능합니다. 이 시스템은 일련의 성능 기반 (Performance-Driven) 기능을 갖추고 있는데, 반도체 제조 공정에서 사용되는 마스크와 웨이퍼 (Wafer) 모두에서 미세 결함을 쉽고 정확하게 감지 할 수 있도록 설계되었습니다. 장치의 중심에는 13 배의 배율을 가진 개별 CCD로 구성된 5 메가 픽셀 디지털 이미징 하위 시스템이 있습니다. 이러한 이미징 서브 시스템은 감도가 높은 다양한 마이크로 결함을 빠르고 정확하게 감지 할 수 있습니다. 모든 이미지 정보는 시스템의 다중 스캔 기술 (Multi-Scanning Technology) 을 사용하여 처리되며, 이를 통해 가장 작은 결함까지도 식별하고 격리할 수 있습니다. 또한, 이 기술을 통해 획득한 이미지를 신속하게 처리 및 분석할 수 있습니다. 이 도구는 다양한 결함 센서 (3D 측정에 필요한 센서, 다양한 결함 평가 기술 포함) 와 호환됩니다. 또한 격리된 요소 검사, 총 결함 검사, 패턴 완전성 등 다양한 비결함 (non-defective) 패턴 분석 기술을 사용할 수 있습니다. 이 자산은 금속, 폴리 실리콘, 폴리 -CVD, 산화물 등 다양한 재료에서 수행하도록 설계되었습니다. KLA 2132 사용자 인터페이스는 직관적이고 간단하며, 모델 기능을 쉽게 탐색할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 복잡한 데이터 유형을 가진 이미지 세트 (예: 다양한 이미지 세트) 를 사용할 수 있으며, 여러 개의 자동 작업 시퀀스 (automated job sequence) 를 설정할 수 있습니다. 또한, 텍스트 데이터와 색상 이미지를 모두 사용하여 상세한 결과를 표시할 수 있는 사용자 정의 가능한 검사 보고서 (Inspection Report) 페이지를 제공합니다. 또한, 내부 확장 슬롯을 통해 손쉽게 소프트웨어 용량과 이미징 (imaging) 기능을 추가할 수 있습니다. 또한 자동 검사 레시피 기능 (Automatic Inspection Recipe Feature) 과 모든 새 기판 이전의 검사 설정을 용이하게 하는 메뉴 기반 샘플/로트 설정 (Sample/Lot Setup) 메뉴가 포함되어 있습니다. TENCOR 2132는 ESD 보호 게이트, 검역 보호 게이트, 자동 가스 효율 운영 등 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 2132 년은 시장에서 가장 고급적이고 신뢰할 수있는 마스크, 웨이퍼 검사 시스템 중 하나입니다. 강력한 이미징 기술, 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface), 신뢰할 수 있는 안전 기능을 통해 모든 고급 반도체 제작 설비에 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다.