판매용 중고 KLA / TENCOR 2132 #293665007

ID: 293665007
Wafer inspection system.
KLA/TENCOR 2132는 광석기 마스크의 현장 사진을 측정하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 제품은 마스크에서 중요한 기능을 감지하고 측정하기 위해 레이저 스캐닝 (laser scanning), 다중 비디오 카메라 (multiple video camera), 개체 식별 알고리즘 (object identification algorithm) 과 같은 새로운 기술 조합을 사용합니다. KLA 2132 시스템은 마스크 표면을 가로질러 스캔할 수 있으며, 선 (line), 패턴 (pattern) 과 같은 매우 정확한 피쳐와 피치 (pitch), 정렬 (alignment), 대칭 (symmetry) 과 같은 기타 중요한 피쳐를 감지할 수 있습니다. 이 장치 는 "레이저 '를 사용 하여" 마스크' 를 가로질러 주사 하며, 넓은 각도 에서 선 폭 을 정확 히 탐지 하고 측정 할 수 있다. 또한 TENCOR 2132 (TENCOR 2132) 는 여러 고해상도 비디오 카메라를 사용하여 마스크 표면에 걸쳐 상세한 이미지를 캡처할 수 있습니다. 2132 년은 마스크와 웨이퍼를 검사하기위한 신뢰할 수 있고 정확한 도구라는 것이 입증되었습니다. 그것 은 가장 작은 "피처 '를 탐지 할 수 있는 강력 한" 이미징 머신' 을 가지고 있으며, "마스크 '의 표면 에 있는 각" 피처' 를 적절 히 정렬 할 수 있게 해 준다. 또한, KLA/TENCOR 2132 (KLA/TENCOR 2132) 는 마스크 표면의 패턴과 결함을 빠르고 정확하게 인식 할 수있는 고급 객체 식별 알고리즘을 사용합니다. 또한, KLA 2132 는 검사 과정에서 발생하는 문제와 결함을 신속하게 파악할 수 있도록 하면서, 여러 번의 검사 (inspection) 데이터 패스를 분석할 수 있습니다. 이 도구에는 수천 개의 표준 IC 레이아웃 (IC layout) 패턴의 라이브러리가 포함되어 있으며, 패턴의 비표준 피쳐를 감지할 수 있습니다. 또한 TENCOR 2132 (TENCOR 2132) 는 마스크의 각 피쳐 정렬을 자동으로 분석하여 정확한 위치를 지정할 수 있습니다. 요컨대, 2132 는 고급 "마스크 '와" 웨이퍼' 검사 자산 으로서 고급 "레이저 '주사," 비디오 카메라' 및 물체 식별 "알고리즘 '을 사용 하여" 마스크' 에 있는 특징 들 을 정확 하게 탐지 하고 측정 하여 광범위 한 응용 을 한다. 강력한 이미징 (imaging) 및 분석 기능을 통해 생산 전에 IC 설계의 품질을 확인할 수 있는 신뢰할 수 있는 도구입니다.
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