판매용 중고 KLA / TENCOR 2132 #192495

KLA/TENCOR 2132는 반도체 제조에 사용하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 일반 결함 검사, 복잡한 결함 유형의 CAI (Challenging Automated Inspection) 및 최종 결함 확인을위한 검토 기능을 제공합니다. KLA 2132는 6 인치 (150mm) 검사 기능과 여러 웨이퍼 크기 사이의 빠른 변경 기능을 갖춘 광학 검사 시스템을 제공합니다. 약 0.2 m의 해상도로 100 m의 시야 (FOV) 를 제공 할 수 있습니다. 즉, 정확성과 정밀도로 나노 미터 스케일 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 장치에는 또한 브리지, 스크래치, 균열, 입자, 핀 홀 등과 같은 입자 및 광학 결함 유형을 효과적으로 식별 할 수있는 고급 결함 감지 알고리즘이 있습니다. 이 기계는 독점 광학 스캔 아키텍처를 사용하여 이미지를 빠르고 정확하게 획득하고 처리합니다. 이렇게 하면 다양한 결함 유형을 검사하는 데 충분할 정도로 깊이 (depth of field) 를 얻을 수 있습니다. 그런 다음 이미지를 참조 이미지와 비교하여 결함 관련 변형을 확인합니다. 또한 TENCOR 2132에는 결함 분류, 자동 결함 감지, 결함 분석, 결함 검토, 결함 처리 등과 같은 결함 검사 기능이 포함되어 있습니다. 이 툴에는 사용자 친화적 제어 소프트웨어 (User-Friendly Control Software) 가 포함되어 있습니다. 또한 향상된 이미지 시각화 및 분석을 위해 "동급 최고의" 도구를 사용자 정의했습니다. 이 인터페이스를 통해 연산자는 매개변수를 쉽게 지정하고, 결과를 보고, 분석을 빠르게 구체화할 수 있습니다. 2132는 잠재적 결함에 대한 표면을 검사하는 데 매우 다양하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 고급 알고리즘과 광학 자산 (Optics Asset) 을 사용하면 정확성과 정밀도로 나노 스케일 (Nanoscale) 결함을 감지할 수 있으며, 사용자에게 명확하고 이해하기 쉬운 결과를 제공합니다. 이 모델은 높은 수준의 검사, 결함 분석이 필요한 모든 제조업체에 이상적인 솔루션입니다.