판매용 중고 KLA / TENCOR 2132 #181195

KLA / TENCOR 2132
ID: 181195
Wafer Inspection system.
KLA/TENCOR 2132는 최첨단 이미지 처리를 갖춘 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 고급 분석 소프트웨어에 의해 향상되었습니다. KLA 2132 는 다양한 폼 팩터 (form factor) 와 두께 (thickness) 의 구성요소를 검사하고 테스트할 수 있는 광범위한 기능 세트 덕분에, 이 다용도 및 현장 업그레이드 가능 시스템은 결함 검사, 표면 품질 제어, 오버레이 등록, 고급 명암비 조정 등 다양한 고성능 웨이퍼 검사 기능을 제공합니다. TENCOR 2132는 가장 까다로운 ASTM 검사 사양의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 이 플랫폼은 512 개의 DSP (Programmable Digital Signal Processor) 코어를 통합하여 운영자가 1 초 이내에 웨이퍼를 검사 할 수 있습니다. 강력한 기능의 소프트웨어 제품군과 결합된 빠른 이미지 처리 속도 (fast imaging speed) 를 통해 다양한 작업에 대한 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계에는 모서리 감지, 결함 추적, 이미지 필터링 등 다양한 자동 컨트롤이 포함된 직관적인 사용자 인터페이스가 있습니다. 이미지 분석 모듈 (image analysis module) 을 사용하면 다양한 크기와 모양의 기능을 신속하게 평가하고 분석할 수 있습니다. 검사 과정에서 캡처된 모든 이미지는 추가 분석 (analysis) 또는 보관 (archival) 용도로 자동으로 저장할 수 있습니다. 또한, 이 도구의 고급 웨이퍼 검사 기능에는 광 검사, 패턴 일치, 명암비 튜닝도 포함됩니다. 2132에는 KLA WinSPM, SpectraWafer, FocalPlane Scan 등 다양한 전문 소프트웨어 툴이 제공됩니다. 이 도구는 사용자에게 검사 및 테스트 프로세스를 사용자 정의할 수 있는 (customize) 기능을 제공합니다. 즉, 특정한 요구 사항에 맞게 에셋을 조정할 수 있습니다. KLA/TENCOR 2132에는 청소 및 취급 시스템 옵션도 장착되어 있습니다. 로봇 핸들러 (robotic handler) 와 직관적인 로봇 컨트롤러로 구동되는 이러한 시스템은 추가 분석 또는 아카이빙을 위해 주문형 (on-demand), 자동 클리닝 또는 다양한 객체를 처리할 수 있습니다. 이 모델은 또한 고객 서비스/지원 (Customer Service and Support) 프로그램을 통해 온라인 및 인적 지원 모두에 액세스할 수 있습니다. 결론적으로, KLA 2132는 까다로운 ASTM 검사 사양을 충족하도록 설계된 엄청나게 다재다능한 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 강력하고 기능적인 소프트웨어 제품군 (robotic handling system) 과 향상된 고객 지원 기능을 갖춘 TENCOR 2132 는 안정적이고 정확한 검사 환경을 제공합니다.
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