판매용 중고 KLA / TENCOR 2132 #135009

KLA/TENCOR 2132는 반도체 생산량, 품질 및 신뢰성을 향상시키기 위해 설계된 Mask & Wafer Inspection Equipment입니다. 고급 옵틱, 정교한 소프트웨어 및 Lightning Wafer Inspection 기술을 결합하여 미크론 수준의 정확도로 결함을 검사합니다. 이 시스템에는 고해상도 CCD 카메라와 텔레센트릭 (Telecentric) 옵틱이 장착되어 있어 최대 8mm x 8mm의 화면으로 마스크 또는 웨이퍼 이미지를 캡처할 수 있습니다. 전중파 광학 장치 (Telecentric optics) 는 각도 뷰로 인한 기하학적 왜곡을 수정하여 이미지 품질과 감지 정확도를 높입니다. 이 장치에는 또한 인피니티 포커스 빔 프로파일러 (Infinity Focus Beam Profiler) 가 있습니다. 이 프로파일러는 광학의 초점에 이미징 평면을 생성하여 검사된 표면의 3D 레이저 프로파일 맵을 만듭니다. KLA 2132에는 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스 및 자동 감지 알고리즘이 포함 된 제어 시스템이 있습니다. 이 도구를 사용하여 단일 클릭 설정을 설정하고 스캔한 서피스를 신속하게 처리할 수 있습니다. 또한 자동 교정 (auto-calibration) 기능이 통합되어 이미징 매개변수를 최적화하여 높은 수준의 포지셔닝 정확도를 유지합니다. 또한, 자산에는 다양한 품질 분석 모듈 (Quality Analysis Module) 이 장착되어 있으며, 복잡한 결함을 분석하고 상세한 결함 측정 및 분석 보고서를 생성하는 지능형 기술입니다. 여기에는 결함 감지 및 분류에 대한 다이 투 다이 비교, 색상 매핑 및 링 분석이 포함됩니다. TENCOR 2132 autocollimator, 미러 및 렌즈 어레이, 수차 교정 허용, 수동 광 정렬 불필요. 이 모델에는 온스테퍼 (on-stepper) 통합 옵션도 포함되어 있으며, 스테퍼 노출 시 실시간으로 웨이퍼를 고해상도 검사하여 빠르고 정확한 결함 모니터링이 가능합니다. 2132 년, 반도체 제조업체에게 "미소기업 (micro-scale) '을 검사해 수익률 손실과 생산상의 결함을 파악하고 완화시킬 수 있는 능력을 제공한다. 이 장비는 선명하고 상세한 이미지를 제공할 뿐만 아니라, 고급 자동 결함 감지 (automated defect detection) 및 분류 (classification) 기능을 제공하여 제조업체가 제품의 품질과 신뢰성을 모두 향상시킬 수 있습니다.