판매용 중고 KLA / TENCOR 2131 #9404524

KLA/TENCOR 2131은 반도체 제작 공정을 위해 설계된 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 광학 및 다이-투-다이 도량형 응용 프로그램 모두에 사용할 수 있습니다. 시스템은 두 개의 워크스테이션을 사용합니다. 하나는 정렬을 위해, 다른 하나는 최종 검사를 위해 사용됩니다. 정렬 워크스테이션에는 두 개의 정렬 모듈 (자체 정렬 모듈 및 자동 정렬 모듈) 이 있습니다. 자체 정렬 모듈은 고급 이미지 분석 (advanced image analysis) 기술을 사용하여 웨이퍼를 필요한 패턴에 자체 정렬합니다. 자동 정렬 모듈은 프로그래밍된 마스크를 사용하여 웨이퍼를 식별하고 정렬합니다. 최종 검사 워크스테이션에는 패턴 (pattern) 과 결함 (defect defect) 을 모두 측정하는 여러 센서가 장착되어 있습니다. 이러한 센서에는 광학 현미경 배열, X- 선, 전자 현미경 및 CMOS 센서가 포함됩니다. 이 장치에는 단일 결함 분류 모듈 (single defect classification module) 이 있으며 동시에 여러 결함을 측정 할 수 있습니다. 이 기계는 검사 속도가 높으며, 시간당 최대 10,000 개의 웨이퍼 (wafer) 가 있으므로 대용량 생산 환경에 적합합니다. 또한, 수율 (80% 이상) 을 정확하게 감지하여 광범위한 프로세스 조건에서 사용할 수 있습니다. 이 도구는 또한 측정을 분석하고 자동으로 통과 (pass) 또는 실패 (fail) 결과를 제공하므로 프로세스 재구성이 빨라집니다. 또한 직관적인 사용자 친화적 그래픽 인터페이스 (GUI) 를 통해 설치와 작동을 쉽게 수행할 수 있습니다. KLA 2131은 고정밀 마스크 및 웨이퍼 검사에 필수적인 도구입니다. 빠른 속도, 높은 정확도, 직관적인 사용자 인터페이스로 다양한 어플리케이션에 적합합니다. TENCOR 2131 은 small-volume run 또는 대규모 생산에 사용되든, 검사 결과를 최적화하고 수익률을 높일 수 있습니다.