판매용 중고 KLA / TENCOR 2131 #9186639

ID: 9186639
웨이퍼 크기: 8"
Inspection system, 8" Parts machine.
KLA/TENCOR 2131은 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고급 고속 측정, 광학 및 통계 분석 소프트웨어를 통해 마스크 및 웨이퍼 결함 검사에 초고해상도 (Ultra High Resolution) 이미징을 제공하는 자동화된 컴퓨터 제어 장치입니다. 고급 광학 기술은 반도체 마스크 및 웨이퍼를 위한 탁월한 이미지 디테일 (detail) 및 이미지 인식 기능을 제공합니다. 광학은 고해상도 CCD (charge-coupled device) 카메라가있는 레이저 조명 시스템을 사용하여 명확한 결함 이미지를 제공합니다. 저소음 선형 다이오드 어레이와 고해상도 공기 간격 줌 렌즈가 포함됩니다. 카메라 장치 (Camera Unit) 는 검사된 항목을 256배까지 확대할 수 있으며, 최대 회선 및 공간 측정치는 0.12 미크론 (Micron) 이며, 작은 기능 크리티컬 결함 감지를 수행하기에 충분한 해상도와 민감도를 제공합니다. 클라이 2131 (KLA 2131) 에는 깨끗하고 먼지가 없는 환경을 제공하기 위해 분리할 수있는 여러 샘플 단계가 있습니다. 자동화된 비전 머신 (Automated Vision Machine) 은 기존의 이미징 이상의 결함을 자동으로 감지하고 식별합니다. 또한 결함이 감지 된 후 스캔 (scan) 을 계속함으로써 브리징 (bridging) 과 같은 약한 결함을 분석 할 수 있습니다. 이 툴은 다양한 고급 소프트웨어 애플리케이션을 결합하여 포괄적인 이미지 분석 (image analysis) 및 결함 분류 (defect classification) 기능을 제공합니다. 결함 분류, 에지 감지, 극성 분석 등 결함 특성화를위한 포괄적인 고급 광학 도구 (Optical Tools) 가 포함되어 있습니다. 또한, 유용한 결함 분포 측정 방법을 제공하는 다양한 통계 및 시각화 (Visualization) 툴도 포함되어 있습니다. TENCOR 2131 검사 자산은 높은 생산성과 정밀도를 제공하며, 결함을 정확하게 분류하고 보고할 수 있는 신속한 결함 식별과 결함 분류를 제공합니다. 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 는 사용 편이성을 위해 설계되었으며, 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 데이터를 빠르고 쉽게 모니터링, 분석, 검토할 수 있습니다. 전체적으로 2131은 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 모델로, 고해상도 이미징, 고급 이미지 분석, 결함 분류 기능, 탁월한 소프트웨어 기능 등을 제공합니다. 첨단 광학 (Optical) 기술과 소프트웨어 (Software) 기술을 결합하면 반도체 검사를 위한 안정적이고 경제적인 솔루션이 될 수 있습니다.
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