판매용 중고 KLA / TENCOR 2131 #293752263

KLA/TENCOR 2131 (KLA/TENCOR 2131) 은 반도체 마스크 및 웨이퍼의 시각적 검사에 사용되는 장치로, 기존의 방식보다 정확도가 높은 종합적인 결함 검사 기능을 제공합니다. 이 장비는 다양한 기능과 응용 프로그램 (application) 을 갖추고 있는데, 특정 요구 사항에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있으므로 반도체 제조에서 없어서는 안될 도구입니다. 이 시스템은 특허받은 섀도우 (shadowing) 기술을 사용하는데, 센서를 사용하여 반도체 마스크 및 웨이퍼에 결함이 있음을 감지합니다. 그런 다음, 알고리즘을 적용하여 각 결함의 정확한 위치와 크기를 결정합니다. 작동 중에 장치는 스크래치, 입자, 공백, 비균일 성 및 기타 오염 물질을 감지 할 수 있습니다. 또한, 각 유형의 결함 (defect) 에 대해, 기계는 표면의 색상과 밝기, 그리고 결함의 크기를 결정할 수 있습니다. 이 정보로, 도구는 추가 조사를 위해 웨이퍼 또는 마스크의 잠재적 결함을 플래그로 표시합니다. 에셋은 결함 감지 외에도 오버레이 (overlay), 평면도 (flatness) 및 선 너비 (line width) 측정과 같은 응용 프로그램에 다양한 이미징 옵션을 제공합니다. 이 모델에는 3D 뷰어 (3D viewer) 가 포함된 소프트웨어 제품군 (Software Suite) 이 포함되어 있어 여러 이미지를 한 번에 볼 수 있고 쉽게 탐색할 수 있습니다. 또한 웨이퍼의 물질 결함 (예: 다이아몬드 트렌칭, 스텝 검출 등) 을 탐지 할 수 있습니다. 장비 자체는 안전한 환경 제어 캐비닛에 내장되어 있으며 고해상도 컬러 LCD 디스플레이 (Color LCD Display) 와 광학 감지 헤드 (Optical Sensing Head) 어셈블리로 구성되어 있습니다. 광학 헤드는 0.001 도의 각도 해상도로 360도 이상 회전할 수 있습니다. 또한 LED (LED) 와 프리즘 (프리즘) 을 통해 피쳐를 구분할 수 있으며, 광도를 조정하거나 이미지의 스펙트럼을 변경할 수 있는 내장 필터가 여러 개 있습니다. 클라 2131 (KLA 2131) 은 반도체 마스크· 웨이퍼의 결함 감지· 평가에 사용된다. 탁월한 광학 부품과 결합된 고급 알고리즘은 탁월한 정밀도와 성능을 제공합니다. 이 시스템은 또한 작동하기 쉽고, 사용자에게 친숙한 여러 소프트웨어 어플리케이션과 함께 제공됩니다. 결국, 반도체 제조에 귀중한 도구이며, 품질 관리 (quality control) 애플리케이션에 이상적인 선택입니다.