판매용 중고 KLA / TENCOR 2131 #293749625
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KLA/TENCOR 2131은 마스크 및 웨이퍼 검사 도구입니다. 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 기기의 제작에 사용되는 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 의 결함을 감지하는 데 사용된다. 이 장비는 견고하고 안정적이며 다이 본딩 (die-bonding), 와이어본드 (wirebond), 백사이드 검사 (backside inspection) 등 다양한 응용 프로그램에서 마스크와 웨이퍼 결함을 모두 검사 할 수 있도록 설계되었습니다. KLA 2131은 고해상도, 다중 파장 스캔 전자 현미경 (SEM) 이미징 시스템을 사용하여 마스크와 웨이퍼 모두에서 결함을 감지합니다. 이 장치에는 특허를받은 SEA (Shielded Energy Assembly) 전등 차폐 기술 (Lightshielding Technology) 이 있습니다. 이 기술은 운영자에게 차폐 환경을 제공하여 모든 결함이 정확하게 식별되고 검사됩니다. 이 기기는 고출력 4kV 전자빔을 장착하여 고해상도 (high resolution) 이미지를 만들어 큰 결함과 작은 결함 모두를 감지하는 데 이상적입니다. 또한 TENCOR 2131 (TENCOR 2131) 은 고급 결함 감지 알고리즘 및 이미지 분석을 사용하여 웨이퍼 및 마스크의 패턴을 대조하여 다양한 결함을 가장 정확하게 감지 할 수 있습니다. 기계는 불투명화, 반바지, 껍질 벗기기, 수차, 공백, 핀홀 및 기타 다양한 결함 유형과 같은 결함을 감지할 수 있습니다. 이 도구는 Image Matching, Integrated Circuit Imaging, Advanced Pattern Recognition, Photolithography 등 다양한 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. 이 기기에는 자동 웨이퍼 캐리어 에셋 (wafer carrier asset) 이 있으며, 이를 통해 빠른 속도로 자동 웨이퍼 검사를 할 수 있습니다. 웨이퍼 캐리어 모델에는 웨이퍼 멀티스코프 (wafer multiscope) 가 포함되어 있어 동시에 여러 영역의 결함을 감지할 수 있습니다. 장비에는 기기의 기능과 프로그램을 제어하는 모니터 제어 모듈 (Monitor Control Module) 도 포함되어 있습니다. 2131은 고해상도 이미지와 결함 감지 기능을 제공하는 가장 고급 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 시스템 중 하나입니다. 자동화된 웨이퍼 캐리어 시스템 (Automated Wafer Carrier System) 은 보다 빠르고 효율적인 프로세스를 제공하여 정확도를 높입니다. 이 장치는 다이 본딩 (die-bonding), 와이어 본드 (wirebond) 및 뒷면 검사를 포함한 다양한 응용 프로그램에 적합합니다.
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