판매용 중고 KLA / TENCOR 2131 #293587730
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KLA/TENCOR 2131은 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로 레티클과 웨이퍼의 큰 결함을 정확하게 감지하도록 설계되었습니다. 첨단 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 시스템을 활용하는데, 이 시스템은 물리 기반 모델 라이브러리와 결합하여 다양한 결함 유형을 정확하게 식별합니다. 이 장치는 결함 검토, 마스크 투 웨이퍼 비교 및 격리와 같은 다양한 검사 시퀀스를 처리 할 수 있으며, OEM이 레티클과 웨이퍼를 빠르고 안정적으로 검사 할 수 있습니다. 이 기계는 뛰어난 이미지 명암비 (image contrast) 와 넓은 다이내믹 레인지 (dynamic range) 를 통해 결함을 캡처할 수 있는 고해상도 이미징 도구를 갖추고 있습니다. 크기 가 몇 "나노미터 '까지 되는 결함 을 정확 히 탐지 할 수 있으며" 펠리클', 유리 "웨이퍼 ', 석영" 웨이퍼' 및 IC "웨이퍼 '와 같은 광범위 한 입력 재료 를 처리 할 수 있는 유연성 이 있다. 자산의 라이브러리 모델은 누락 된 전기 부품 (electrical component) 에서 수많은 다른 물리적 불완전성 (physical imperfections) 에 이르기까지 다양한 잠재적 결함 유형을 빠르고 정확하게 식별하도록 설계되었습니다. 모델 라이브러리는 물리 기반 모델과 모서리 결함, 선 결함, 복합 결함, 누락 요소 등에 대한 기본 구조 모델로 구성됩니다. 이 라이브러리를 사용하면 사용자가 자신의 사용자정의된 모델을 구축하고 어려운 조명 조건 (예: 저강도 편광) 에서도 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한 강력한 데이터 분석 소프트웨어 (data analysis software) 를 통해 이미지를 분석할 수 있으며, 데이터 수정 (data correction), 개선 (enhancement), 음영처리 (shade equalization) 등 다양한 작업을 수행하여 광범위한 자료에서 결함 감지를 개선할 수 있습니다. 데이터 분석 (data analysis) 및 결함 감지 (defect-detection) 소프트웨어를 통해 OEM은 근본 원인 파악, 결함 평가 및 분석, 설계자에게 적시에 피드백을 제공할 수 있습니다. 클라 2131 (KLA 2131) 은 다양한 마스크 및 웨이퍼 검사 어플리케이션에 이상적인 툴로서 높은 정확도와 처리량을 보장합니다. 직관적인 사용자 인터페이스, 강력한 라이브러리 모델, 데이터 분석 소프트웨어를 통해 마스크 및 웨이퍼를 안정적이고 정확하게 검사할 수 있습니다. 또한 중요한 집적 회로 어플리케이션의 출시 시간을 단축합니다.
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