판매용 중고 KLA / TENCOR 2131 #195227
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ID: 195227
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
Wafer inspection system, 8"
UI System
KLA-2252 System
Monitor
Keyboard
Mouse
Printer
Power and signal cable
Robot
X and Y Chuck stage
PC
Power supply: 120 V, 25 A, 50/60 Hz, Single phase
1995 vintage.
KLA/TENCOR 2131은 반도체 웨이퍼 및 마스크의 생산 테스트를 위해 설계된 차세대 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 최첨단 하드웨어와 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 를 결합하면 웨이퍼 (Wafer) 구성 프로세스 동안 빠르고 정확한 감지 및 결함 특성화가 가능합니다. 이 시스템은 매우 빠른 속도로 작동할 수 있으며, 전체 시야에서 최대 해상도는 50 나노미터 (50 나노미터) 입니다. 여기에는 컬러 CCD 카메라, 고정밀 스테이지 및 고강도 조명을 갖춘 마스터 하위 시스템이 포함됩니다. 이것은 2 개의 전체 레이어 웨이퍼를 덮는 독특한 다기능 고해상도 이미징 장치 (MB) 에 의해 보완됩니다. 또한, 기계는 E-빔 도량형 (E-beam metrology) 과 같은 다양한 분석 도구를 사용하여 검사 과정의 정확성과 신뢰성을 극대화합니다. 이 툴의 직관적인 소프트웨어를 통해 운영자는 분석 매개변수 (analysis parameters) 를 빠르고 효과적으로 설정하고 테스트를 시작할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 검사 메뉴는 운영자에게 적외선 이미징, 스펙트럼 이미징, 시각화 및 지표, 결함 감지 등 다양한 옵션을 제공합니다. 또한, 자산의 실시간 데이터 분석 (real-time data analysis) 을 통해 운영자는 각 검사 결과를 쉽게 보고 평가할 수 있습니다. 또한 KLA 2131은 업계 표준에 따라 결함의 자동 분류를 제공합니다. 이를 통해 예측 가능한 검사 결과를 얻을 수 있으며, 디바이스 구성 중 주기 시간을 줄일 수 있습니다. 또한 산업 안전 지침 및 배출 표준도 준수합니다. TENCOR 2131은 웨이퍼 제작에서 웨이퍼 라이닝 (Wafer Thinning) 및 마스크 이미징에 이르기까지 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 첨단 기능 및 직관적인 소프트웨어를 통해 반도체 제작 및 프로세싱에 유용한 툴이 됩니다.
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