판매용 중고 KLA / TENCOR 2125 #9186027

KLA / TENCOR 2125
ID: 9186027
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR 2125는 자동 웨이퍼, 마스크 검사 및 결함이없는 생산을위한 측정 기능을 제공하는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고정밀 옵틱, 완전자동 웨이퍼, 마스크 찾기, 스캔, 분석 등의 고급 기능을 제공합니다. 이 장치에는 Achromatic Slit 프로젝션 카메라와 Telecentric 프로젝션 광학 기계가 장착되어 있습니다. 슬릿 카메라 (slit camera) 는 더 크고 균질한 시야를 제공하여 공구가 복잡한 모양의 여러 레이어를 더 정확하게 캡처할 수 있습니다. 원격 중심 투영 광학 자산 (Telecentric Projection Optics Asset) 은 시야에 걸쳐 일관된 이미지 품질을 보장하므로 보다 정확한 측정 결과를 얻을 수 있습니다. KLA 2125 모델은 다양한 알고리즘을 사용하여 오염 물질, 입자 결함, 기타 임계 입자 등 다양한 결함을 감지하고 측정합니다. 이 알고리즘은 이미지를 분석하고, 감지된 결함에 따라, 신뢰 점수를 생성합니다. 이 장비에는 측면 및 수직 측정을위한 내장, 매우 정확한 측정 시스템이 포함되어 있습니다. 이를 통해 웨이퍼 전체에서 정확하고 반복 가능한 측정이 가능합니다. 또한, 이 장치는 대비 및 회로 임계 치수를 측정하는 기능을 제공합니다. 이 기계에는 VTRF (variable-tolerance reference file) 지원, OCR (optical character recognition) 및 오염 물질 제거를위한 결함 복구, photoresist 결함 수리 및 중요한 패턴에 대한 패턴 채우기와 같은 고급 기능이 포함됩니다. VTRF 기능을 사용하면 운영자가 개별 요구 사항과 운영 요구를 충족할 수 있도록 Tool 을 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 손쉽게 탐색할 수 있는 터치스크린 모니터 (touch-screen monitor), 직관적인 메뉴 모델, 다양한 이미지 조정, 확대/축소 기능 등 다양한 사용자에게 친숙한 기능을 제공합니다. 이 장비는 유연성이 뛰어나고 구성이 용이하여, 특정 어플리케이션에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 전반적으로 TENCOR 2125 시스템은 자동화된 스캐닝, 분석 및 측정을 제공하는 강력하고 안정적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장치입니다. 고급 기능과 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 는 반도체 제작 및 품질 제어에 이상적인 선택입니다.
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