판매용 중고 KLA / TENCOR 2111 #9410124

KLA/TENCOR 2111은 고속, 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 대규모 통합 (LSI) 마스크 및 웨이퍼에서 하위 미크론 결함을 신속하게 감지하여 비용을 절감하도록 설계되었습니다. 이 고급형 시스템은 특유의 스캐닝 방식을 갖추고 있으며, 두 대의 카메라와 고출력 (high-powered) 광학 및 알고리즘을 활용합니다. 첫 번째 "CCD 카메라 '는 낮은 해상도 로" 마스크' 나 "웨이퍼 '를 주사 하고 두 번째" 카메라' 는 훨씬 더 높은 해상도 와 더 세부적 인 스캔 을 얻는다. 이를 통해 장치는 더 작은 결함을 감지하고, 다른 데이터 포인트를 추적할 수 있으며, 기존의 스캐닝 시스템 (scanning system) 보다 정확도가 높습니다. 이 기계는 또한 가장자리 결함 (길거리 팔레트 또는 부품), 입자 결함 (먼지, 먼지 입자 및 기타 외국 물체), 선 결함 (헤어 크랙 및 기타 전기 불연속) 및 사진 코딩 결함 (웨이퍼 제작 과정 오류) 을 포함하여 다양한 자동 결함 감지 및 검사를 제공합니다. 이 도구는 이러한 결함을 몇 초 안에 식별할 수 있으며, 눈에 보이는 결함과 그렇지 않은 결함 사이를 구분할 수도 있습니다 (영문). KLA 2111은 작고, 가볍고, 이동성이 뛰어나며, 실험실과 생산 라인 내의 검사에 이상적입니다. 또한 직관적인 터치스크린 인터페이스 (touch-screen interface), 반복 가능성을 위한 조정 가능한 설정, 상세한 결함 분석 데이터 등 다양한 사용자 친화적 기능을 제공합니다. 고정밀 줌 현미경, 현미경 웨이퍼 스캐너, 내장 결함 진단 도구 등 다양한 첨단 툴이 제공됩니다. TENCOR 2111은 비용을 절감하고 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 검사 정확성을 향상시켜 일관되고 안정적인 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 자동화된 결함 감지 및 검사 자산 (automated defect detection and inspection asset) 은 검사 프로세스의 처리량을 높이고 주기 시간을 줄여 마스크 및 웨이퍼 제작에 더 빠른 처리 시간을 제공합니다. 또한 고성능 스캐닝 (Scanning) 기술과 상세한 보고 기능을 통해 결함의 정확성과 세부 분석을 보장할 수 있습니다. 이러한 기능은 모두 결합하여 2111 을 가장 효과적이고 효율적인 검사 시스템 중 하나로 사용할 수 있도록 도와줍니다.