판매용 중고 KLA / TENCOR 2111 #9410123
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KLA/TENCOR 2111 (KLA/TENCOR 2111) 은 다양한 기판의 표면 품질을 측정 및 모니터링하기위한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고해상도, 빠르고 정확한 테스트를 수행할 수 있으며, 나노미터 수준의 결과를 제공합니다. 생산 환경을 위한 완벽한 툴로서, 생산량을 향상시키고 비용을 절감할 수 있습니다. KLA 2111은 선형 모터 및 인코더 장치와 결합하여 5 초 미만의 사이클 시간을 제공하는 진정한 이미지 스티칭에 이중 열 (dual-column) 디자인을 사용합니다. 현재 컴퓨터에서 사용 가능한 최고 해상도는 3.1nm입니다. 이 도구는 또한 확장 가능한 30 위치 자동화 구성 요소를 특징으로하며, 설치 후 추가 프레임으로 업그레이드 할 수 있습니다. 자산은 가장 정확한 결과를 보장하기 위해 다양한 검사 기술을 갖추고 있습니다. 여기에는 광학 및 전기, 결함 검사 및 매핑, 공중 영상 및 SEM (스캐닝 전자 현미경) 이 포함됩니다. 크기, 위치 및 이미지 대비를 기준으로 결함을 식별하고 분리합니다. 이 모델은 또한 고급 데이터 수정 및 마스크 수정 장비를 제공하며, 웨이퍼 및 다이 표면에 대한 고정밀 분석을 제공하는 3D 시각적 기능 분석 소프트웨어 (3D Visual Feature Analysis Software) 를 제공합니다. TENCOR 2111 은 고급 사용자 인터페이스를 통해 전체 시스템을 완벽하게 제어할 수 있습니다. 데이터 획득 속도, X-Ray 소스, 테스트 제한 등과 같은 매개 변수는 모두 사용자의 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 이 장치는 또한 자동 초점 (autofocus) 을 내장하여, 매번 빠른 초점과 정확한 결과를 얻을 수 있도록 설계되었습니다. 2111 은 쉽게 서비스할 수 있도록 설계되었으며, 모듈식 (modular) 설계로 교체 부품에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 도구에 대한 모든 조정에 대한 계정을 제공하는 감사 로그 (audit log) 도 포함되어 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR 2111은 아트 마스크 및 웨이퍼 검사 자산의 상태입니다. 모든 운영 환경에 적합한 탁월한 모델로, 생산량 향상, 비용 절감 효과를 제공합니다. 이 장비는 높은 수준의 정확성과 안정성, 그리고 지속적 운영을 위한 빠르고 간편한 유지 보수 (maintenance) 기능을 제공합니다.
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