판매용 중고 KLA / TENCOR 2111 #9410122

KLA/TENCOR 2111은 고성능, 고해상도 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 빠른 속도로 정확하고 반복 가능한 결과를 제공할 수 있습니다. 이 시스템은 선 및 공간 오류, 입자 농도, 설계 형상 오류, 서브 미크론 패턴 결함 등 다양한 프로세스 관련 결함을 감지하고 분석하도록 설계되었습니다. KLA 2111에는 고급 이중 파장 레이저 감지 장치 (고해상도 및 고속 결함 감지 모두 가능) 가 장착되어 있습니다. 또한 넓은 시야가 특징이며, 최대 77mm 기판 면적을 검사 할 수 있습니다. 이 머신에는 여러 가지 구성 가능한 처리 매개변수 (processing parameter) 가 있으며, 이를 통해 마스크와 웨이퍼 검사 프로세스를 특정 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 도구의 핵심에는 이미징 및 패턴 인식 소프트웨어가 있습니다. 이 소프트웨어는 자산의 이중 파장 레이저 탐지 모델과 함께 작동하여 다른 프로세스 관련 결함의 크기, 형태, 대비를 정확하게 탐지, 측정합니다. 소프트웨어에는 허위 경보 개체 자동 집단화 (auto-population of false-alarm objects), 결함 집단의 통계적 분석 (statistical analysis) 등 여러 매개변수로 구성되는 옵션도 있습니다. 이 장비에는 직관적이고 사용자 친화적 인 인터페이스도 장착되어 있습니다. GUI (Graphical User Interface) 를 통해 사용자는 프로세스 관련 결함을 빠르고 쉽게 측정하고 모니터링할 수 있습니다. 따라서 프로세스 관련 결함을 간편하게 모니터링, 보고, 분석할 수 있고, 사용자 요구 사항에 맞게 검사 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. TENCOR 2111은 산업 및 연구 응용 프로그램 모두를 위해 설계된 고성능, 고해상도 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 빠른 속도로 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하며, 이는 반도체 생산, 마이크로 일렉트로닉스 및 미세 전기 기계 시스템 (MEMS) 의 응용 분야에 이상적인 선택입니다. 고급 탐지 장치 (Advanced Detection Unit), 직관적인 GUI (직관적인 GUI) 및 구성 가능한 처리 매개변수를 통해 반도체 업계에서 강력하고 신뢰할 수 있는 툴이 됩니다.