판매용 중고 KLA / TENCOR 2111 #9082266

KLA/TENCOR 2111은 KLA Corporation의 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 고밀도 집적 회로의 결함을 감지하기 위해 프로젝션 광학을 사용합니다. 이 시스템은 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 레이어 모두에서 결함을 감지하는 데 탁월한 정확도를 제공하는 고급 계산 기술을 사용합니다. 이 장치는 특허받은 ProScanIA ™ 마이크로 옵틱 헤드와 함께 배포 된 180W 초단파 펄스 레이저를 사용하여 웨이퍼 및 마스크 표면의 고해상도 2D 오버레이를 얻습니다. 5X 프로젝션 광학은 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 표면의 매우 정확한 하향식 이미지를 만들어 매우 정밀도가 높은 결함을 보여줍니다. 또한, KLA 2111 은 마스크 처리된 이미지와 마스크되지 않은 이미지를 모두 캡처하고 수많은 이미지 처리 알고리즘을 수행하는 고속 이미지 수집 머신을 갖추고 있습니다. 이 알고리즘은 단일 검사 주기 (single inspection cycle) 에서 패턴 결함의 감지 및 분류를 가능하게하며, 이는 검사 시간을 대폭 줄이고 수율을 증가시키는 기능입니다. 이 툴에는 고객이 결함 검사 결과를 확인하고 평가할 수 있도록 지원하는 독점 소프트웨어가 포함되어 있습니다 (영문). 이 소프트웨어는 다양한 수량 측정 (quantitative metrics) 을 지원하여 사용자가 디바이스 구조의 특성을 지정할 수 있도록 합니다. 사용 편의성을 위해 TENCOR 2111에는 고급 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 도 있습니다. 이 GUI 를 통해 사용자는 심층적인 데이터 분석 없이, 수준 높은 요약으로 사용자 지정 보고서를 신속하게 생성할 수 있습니다. 2111의 고해상도 옵틱, 고급 이미지 처리 기능, 직관적인 GUI 조합은 탁월한 마스크, 웨이퍼 검사 자산을 만듭니다. 이 모델은 매우 상세한 2D 분석을 제공하며, 마스크된 결함과 마스크되지 않은 결함을 모두 식별하고 정량화하는 데 적합합니다. 반도체 제조업체와 엔지니어들이 제품 설계 라이프 사이클 (life cycle) 초기에 생산량을 극대화하고 중요한 문제를 파악하고자 하는 완벽한 툴입니다.