판매용 중고 KLA / TENCOR 2111 #293619932

KLA / TENCOR 2111
ID: 293619932
Brightfield inspection system.
KLA/TENCOR 2111 (KLA/TENCOR 2111) 은 집적 회로 및 칩셋 제작의 정확성과 일관성을 보장하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 이 자동 시스템은 최첨단 2 차원 자동 광검사 기술과 함께 뛰어난 이미지 처리 알고리즘을 사용하여 결함, 불규칙성 뿐만 아니라 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 를 만드는 데 사용되는 기계의 결함 및 변형을 감지합니다. 이 시스템은 다국어 LED 작동 장치 디스플레이, 인체 공학 제어 콘솔, 자동 패턴 인식 프로세서 및 고해상도 이미지 검출기의 4 가지 구성 요소로 구성됩니다. LED 작동 디스플레이 (LED Operator Display) 를 통해 엔지니어에게는 다양한 제조 및 품질 관리 데이터가 제공되며, 이를 통해 제품 라인에 대한 정보를 얻을 수 있습니다. 인체 공학 제어 콘솔을 사용하면 사용자 친화적인 작업 및 설정 사용자 정의가 가능합니다. 자동 패턴 인식 프로세서 (Automated Pattern Recognition Processor) 는 제작에 사용할 수 있는 마스크 또는 웨이퍼의 결함 또는 불규칙성을 감지하는 데 사용되는 정교한 소프트웨어 응용 프로그램입니다. 이 소프트웨어는 3 차원 객체 인식 알고리즘, 에지 감지 (edge detection) 및 피쳐 추출 방법과 더 높은 정확도와 신뢰성을 위해 노이즈 감소 알고리즘을 사용합니다. 형태, 크기, 방향 불일치, 재료 자체의 복잡한 변형에 이르기까지 다양한 결함을 감지 할 수 있습니다. 자동 패턴 인식 프로세서 (Automated Pattern Recognition Processor) 외에도, KLA 2111은 고해상도 이미지 검출기를 사용하여 마스크와 웨이퍼를 가장 선명하게 검사할 수 있습니다. 이 카메라 기반 기술은 마스크와 웨이퍼 (wafer) 를 실시간으로 스캔하고 제작 프로세스의 품질에 대한 자세한 피드백을 제공합니다. 그것 은 크기 가 0.3 "나노미터 '까지 내려가는 기능 을 탐지 할 수 있으며, 그것 은 질 이 조밀 한 제어 표준 이 필요 한 생산" 설정' 에 사용 하는 데 적합 하다. 전반적으로, TENCOR 2111은 제조 라인에서 생성 된 마스크 및 웨이퍼의 정확성과 일관성을 보장하기위한 귀중한 도구입니다. 자동화된 패턴 인식 프로세서 (Pattern Recognition Processor), 정교한 소프트웨어 어플리케이션 (Software Application) 및 고해상도 이미지 탐지기 (Image Detector) 기능을 통해 엔지니어는 운영 프로세스를 면밀히 모니터링하여 오류를 줄이고 결함이 있는 제품을 제거할 수 있습니다. 현대 반도체 제조업 (반도체) 의 핵심 부분이며 고품질 칩셋과 집적회로 (집적회로) 생산의 핵심이다.
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