판매용 중고 KLA / TENCOR 201 #9396148

KLA/TENCOR 201은 효율적이고 정확한 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 자동화된 시스템은 높은 정확도로 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 의 결함을 신속하게 감지하여 제조업체가 고품질 제품을 생산하고 효율성을 높일 수 있도록 합니다. 이 장치는 광원, 광학, 카메라, 이미지 처리 및 분석 머신으로 구성됩니다. 광원은 마스크에서 개별 칩 디자인의 맥락을 비추는 데 사용되는 LED (LED) 배열입니다. 광학은 추가 처리를 위해 이미지 데이터를 수집하고 초점을 맞추도록 설계되었습니다. 카메라는 반사된 이미지 데이터를 캡처하여 디지털 데이터로 저장합니다. 이미지 처리 및 분석 도구 (Image Processing and Analysis Tool) 는 정교한 컴퓨터 알고리즘을 사용하여 이미지 데이터를 분석하고 결함을 나타내는 작은 형상 왜곡 (Small Geometry Distortions) 이나 조명이 아닌 큰 영역과 같은 결함 패턴을 검색합니다. KLA 201 은 (는) 가장 작은 픽셀에서 가장 큰 기능까지) 다양한 크기의 결함을 감지 할 수 있으며, 최대 500mm x 500mm 의 대형 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 석판 마스크, 광학 웨이퍼, 전자 빔 웨이퍼 (e-beam wafer) 등 다양한 리소그래피 이미징 기술을 검사하는 매우 강력한 프로세스를 갖추고 있습니다. 또한, 자산은 스크래치, 깨진 금속, 오정렬, 과다 노출, 잔류 및 선 너비 위반과 같은 다양한 결함 유형을 감지 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 높은 처리량을 제공하며, 주기 시간은 이미지당 0.2 초입니다. TENCOR 201은 반도체 백엔드 및 패키징, 3D 패키지 레벨 검사, 산업 자동화 등 다양한 산업 분야의 여러 애플리케이션에 적합합니다. 이 장비는 신뢰성이 뛰어나고 사용이 간편하며, 업계/업종에 걸쳐 맞춤형으로 구성할 수 있는 모듈식 (modular) 아키텍처로 설계되었습니다. 이 시스템은 자동 결함 분류 (Automatic Defect Classification) 및 등급 매기기 (Grading) 기능을 통해 각 결함의 원인을 쉽게 파악하고 분류할 수 있는 소프트웨어 모듈 (옵션) 을 갖추고 있습니다. 또한 고객 정의 보고 기능을 통해 결함 데이터를 빠르고 쉽게 분석할 수 있습니다. 201 (201) 은 최고 품질의 제품을 생산하기 위해 빠르고 안정적인 결함 탐지가 필요한 제조업에 이상적입니다. 업계 전문가들이 생산 목표를 달성하는 데 적합한 효율적이고 정확한 단위입니다 (영문).