판매용 중고 KLA / TENCOR 201 #293647441

KLA/TENCOR 201 '마스크 및 웨이퍼 검사' 장비는 마스크 및 웨이퍼 패턴 검사를 돕는 매우 정교한 산업 시스템입니다. 이 장치에는 패턴의 충실도 (Fidelity) 와 그 구조적 무결성 (Structural Integrity) 을 확인하기 위한 다양한 기능이 장착되어 있습니다. KLA 201 머신은 모든 수준의 검사에서 고품질 이미징을 가능하게하여 필요한 정확도를 제공하는 3 미러 이미징 서브 시스템을 사용합니다. 고도의 광학 도구는 브라이트필드 (brightfield) 와 다크 필드 (dark-field) 이미지 정보를 모두 수집하여 저장합니다. 추출 된 데이터는 일련의 이미지 (image) 와 맵 (map) 으로 변환되어 조사 된 구조 서피스 (surface surface) 와 옆벽 (sidewall) 에 대한 자세한 통계 분석을 보여줍니다. 또한, 특허를 획득한 Measurement Commander 소프트웨어는 고정밀 와이드 필드 측정 및 검사 측정을 자동으로 만들어 2 단계의 도량형 데이터를 캡처 할 수 있습니다. 첫 번째 레벨은 서피스 레이어 두께, 평평함 및 겹친 패턴 또는 선 밀도로 구성됩니다. 마스크 패턴의 모서리에서 작업하는 두 번째는 측면 두께 (sidewall thickness), 선 모양 (line shape) 및 횡단면 면적을 포함합니다. TENCOR 201 자산의 검사 기능은 학습 곡선의 단축을 허용하는 가변 작업 설정 (Variable Job Setup) 에 의해 더욱 향상되었습니다. 즉, 기존 데이터 라이브러리를 사용하여 오버레이, 너비, 메탈라인 결함 등 다양한 테스트 작업을 수행하므로 검사가 더욱 빠르고 정확하게 실행됩니다. 201은 진동 및 기타 환경 효과 (environmental effects) 를 완화하여 화질을 높일 수있는 가장 고급 환경 제어 검사 시스템 중 하나입니다. 또한, KLA/TENCOR 201 기능은 높은 온도와 극심한 습도에서도 조건의 호스트에서 신뢰할 수 있습니다. 이는 제조 공정에 필수적인, 결과에 대한 엄청난 정확성과 자신감을 부여합니다. 전반적으로 KLA 201 모델은 제조 목적으로 마스크와 웨이퍼 패턴을 검사하는 혁신적이고 효율적인 방법입니다. 이 장비에는 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사를 위해 산업 시스템으로 이동하는 기능이 탑재되어 있습니다.