판매용 중고 KLA / TENCOR 201 #293635802

KLA/TENCOR 201은 Mask & Wafer 제작을위한 자동 검사 장비입니다. 석판화 (lithography) 및 기타 프로세스에 사용되는 마스크가 결함이 없도록 하는 데 사용됩니다. 이 시스템은 MIS (Mask-Inspection Station) 와 WIS (Wafer-Inspection Station) 의 두 부분으로 구성됩니다. MIS는 2 면 또는 2 층 마스크의 최대 4-8 개의 평면, 고해상도 광학 필드를 검사하도록 설계되었습니다. MIS는 감도가 매우 높은 포토 마스크 (photomask) 패턴의 결함을 감지하여 전체 결함 적용 범위를 허용하는 데 사용됩니다. 공정 유발 결함의 종류를 분석할 수 있으며, 정확한 결함 좌표 측정을 제공합니다. 기계는 자동으로 다른 다이 크기를 인식하고 다양한 마스크를 허용합니다. WIS는 4 인치 또는 6 인치 웨이퍼의 최대 8 개의 평면 고해상도 광학 필드를 검사합니다. 결함이 없어도 정확한 결함을 감지할 수 있습니다. 이 기계는 통과/실패 결정 (pass/fail determination) 및 상세한 결함 맵으로 내부 및 주변 결함 적용 범위를 모두 제공합니다. WIS는 또한 광 서명 인식 (Optical Signature Recognition), 프로세스 잔류, 구조 결함 및 기타 생산 문제를 감지하기위한 효과적인 도구를 허용합니다. KLA 201 은 Class 100 Cleanroom 환경에서 작동할 수 있으며 PC에서 원격 액세스를 허용하는 사용자 친화적 인 소프트웨어와 함께 제공됩니다. 이 장치는 전체 프로세스와 모니터 사이클 (monitor cycle) 을 포괄적으로 제어하고 여러 언어를 지원합니다. 전반적으로 TENCOR 201은 안정적이고 효율적인 마스크 및 웨이퍼 검사 기계입니다. 다른 종류의 결함을 감지하도록 설계되었으며, 정확한 결함 측정으로 탁월한 안정성을 제공합니다. 이 도구는 반도체 제조, 마스크 및 웨이퍼 제작, 기타 관련 산업에 적합합니다.