판매용 중고 KLA / TENCOR 2 XX #9009649

KLA / TENCOR 2 XX
ID: 9009649
Spare parts: RIA 1 Reticle inspection adapter for KLA-20X (2)KLA-21X photomask inspection systems, 1985 vintage Parts KLA-2XX inspection systems.
KLA/TENCOR 2 XX (KLA/TENCOR 2 XX) 는 중대형 볼륨 생산에 최적화된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, TCO (총소유비용) 를 최소화하면서 다양한 어플리케이션에 걸쳐 최고의 정확성을 제공합니다. 혁신적인 설계는 결함 검사, 자동화된 결함 분류, 검토 기능을 하나의 완전한 도구로 결합합니다. KLA 2 XX 시스템은 정확한 고속 결함 감지, 최대 70 배 확대, 라인 너비, 입자/오염, 브리지 및 개방형 결함 등의 주소 결함 유형을 제공합니다. 애플리케이션별 이미지 획득 및 기능 추출 알고리즘은 검사되는 재료에 관계없이 품질 결과를 보장하는 반면, M-Vision Particle/Contamination Analysis 패키지는 형태에 의해 입자와 배경을 구별합니다. TENCOR 2XX 장치는 선 너비 및 브리지 결함 처리에 대한 진정한 결함 특성을 위한 자동화된 컨투어 분석 (Contour Analysis) 및 이상치 (Outlier) 삭제 전략을 통해 결함 참조 데이터 생성에 이상적인 툴이 됩니다. 또한, ThAe는 10x 윤곽선 및 84x PEM 확대/축소 및 자동 결함 식별을 통해 결함을 자동으로 분류하여 더 나은 후속 조치 및 수율 개선을 위해 결함을 정확하게 분류했습니다. 이 시스템의 높은 처리량과 정확도는 사용자 친화적 (user-friendly) 인 통합 소프트웨어 인터페이스로, 시간당 최대 500 개의 웨이퍼를 분석할 수 있습니다. 게다가, 추가 소프트웨어 패키지는 스트레스, 왜곡 분석, 지형 인식, 결함 수준 측정과 같은 추가 기능을 제공합니다. 내장된 이중화 (redundancy) 및 신뢰성 기능은 2XX 툴이 원활하게 실행되고 장기간 성능이 유지되는 반면, 네트워크 기반 자산 아키텍처는 모든 데이터를 글로벌 운영 시설 간에 공유할 수 있도록 합니다. 이 모델은 글로벌 지원 네트워크 (Global Support Network) 와 함께 제공되며 사용자의 애플리케이션에 따라 다양한 옵션, 업그레이드, 액세서리 등이 제공됩니다.
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